គោលការណ៍នៃការបាញ់ម៉ាញ៉េត្រុង៖ អេឡិចត្រុងប៉ះទង្គិចជាមួយអាតូមអារហ្គនក្នុងដំណើរការនៃការបង្កើនល្បឿនទៅស្រទាប់ខាងក្រោមក្រោមសកម្មភាពនៃដែនអគ្គិសនី ដោយធ្វើឱ្យអ៊ីយ៉ុងអារហ្គន និងអេឡិចត្រុងមួយចំនួនធំក្លាយជាអ៊ីយ៉ូដ ហើយអេឡិចត្រុងហោះទៅស្រទាប់ខាងក្រោម។ អ៊ីយ៉ុងអារហ្គនបង្កើនល្បឿនដើម្បីបាញ់ទៅលើសម្ភារៈគោលដៅក្រោមសកម្មភាពនៃដែនអគ្គិសនី ដោយបាញ់ចេញអាតូមគោលដៅមួយចំនួនធំ ដែលត្រូវបានដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមជាអាតូមគោលដៅអព្យាក្រឹត (ឬម៉ូលេគុល) ដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្ត។ នៅពេលដែលអេឡិចត្រុងបន្ទាប់បន្សំបង្កើនល្បឿនដើម្បីហោះទៅស្រទាប់ខាងក្រោម ក្រោមឥទ្ធិពលនៃកម្លាំង Lorentz នៃដែនម៉ាញ៉េទិច វាបង្ហាញទម្រង់សមាសធាតុរាងជាវង់ និងស៊ីក្លូអ៊ីដ ដើម្បីបង្កើតចលនារង្វង់ជាបន្តបន្ទាប់នៅលើផ្ទៃគោលដៅ។ អេឡិចត្រុងមិនត្រឹមតែមានផ្លូវចលនាវែងប៉ុណ្ណោះទេ វានៅតែស្ថិតនៅក្នុងតំបន់ប្លាស្មានៅជិតផ្ទៃគោលដៅដោយធ្នឹមទ្រឹស្តីដែនអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច ដែលក្នុងនោះ Ar មួយចំនួនធំត្រូវបានអ៊ីយ៉ូដដើម្បីបាញ់ទៅលើគោលដៅ ដូច្នេះអត្រានៃការដាក់ថ្នាំកូតម៉ាញ៉េត្រុងគឺខ្ពស់។
ដូច្នេះ មួយឧបករណ៍ថ្នាំកូតម៉ាញ៉េត្រុង sputteringត្រូវបានបង្កើតឡើង ដែលរួមបញ្ចូលបច្ចេកវិទ្យាបាញ់ថ្នាំម៉ាញ៉េទិច និងថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង ហើយផ្តល់នូវដំណោះស្រាយសម្រាប់កែលម្អភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃពណ៌ និង https://www.zhenhuavac.com/wp-admin/post.php?post=5107&action=edit&message=1#ស្ថេរភាពនៃអត្រាដាក់ និងសមាសធាតុសមាសធាតុ។ យោងតាមតម្រូវការផលិតផលផ្សេងៗគ្នា ប្រព័ន្ធកំដៅ ប្រព័ន្ធលំអៀង ប្រព័ន្ធអ៊ីយ៉ូដនីយកម្ម និងឧបករណ៍ផ្សេងទៀតអាចត្រូវបានជ្រើសរើស។ ការចែកចាយគោលដៅអាចត្រូវបានកែតម្រូវដោយភាពបត់បែន ហើយឯកសណ្ឋានខ្សែភាពយន្តគឺខ្ពស់ជាង។ ជាមួយនឹងសម្ភារៈគោលដៅផ្សេងៗគ្នា ខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុដែលមានដំណើរការល្អជាងអាចត្រូវបានរៀបចំ។ ថ្នាំកូតដែលរៀបចំដោយឧបករណ៍មានគុណសម្បត្តិនៃកម្លាំងសមាសធាតុខ្លាំង និងភាពបង្រួម ដែលអាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពធន់នឹងការបាញ់អំបិល ភាពធន់នឹងការពាក់ និងភាពរឹងនៃផ្ទៃផលិតផល និងបំពេញតាមតម្រូវការនៃការរៀបចំថ្នាំកូតដែលមានដំណើរការខ្ពស់។
ឧបករណ៍នេះសម្បូរទៅដោយវត្ថុធាតុដើមដែលអាចអនុវត្តបាន ដែលអាចប្រើសម្រាប់ផ្នែករឹង/ផ្លាស្ទិចដែលស្រោបដោយទឹកពីដែកអ៊ីណុក កញ្ចក់ សេរ៉ាមិច និងវត្ថុធាតុដើមផ្សេងៗទៀត។ វាត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ផ្នែករឹងនៃផលិតផលអេឡិចត្រូនិច នាឡិកា និងនាឡិកាដៃលំដាប់ខ្ពស់ គ្រឿងអលង្ការ និងផ្នែករឹងលំដាប់ខ្ពស់នៃទំនិញស្បែកម៉ាកល្បីៗ និងផលិតផលសម្បូរបែបផ្សេងទៀត។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែកុម្ភៈ-០៧-២០២៣