Пӯшидани магнетрон асосан интиқоли плазмаи разряд, пошидани ҳадаф, таҳшиншавии филми тунук ва равандҳои дигарро дар бар мегирад, майдони магнитӣ ба ҷараёни пошидани магнетрон таъсир мерасонад. Дар системаи пошидани магнетрон ва майдони магнитии ортогоналӣ, электронҳо ба нақши қувваи Лорентс тобеъанд ва ҳаракати траекторияи спиралиро иҷро мекунанд, бояд ба бархӯрди доимӣ гузаранд, то тадриҷан ба анод гузаранд, бинобар ин бархӯрд як қисми электронҳоро пас аз кам будани энергия ба анод мерасонад, гармии бомбаборон дар субстрат низ калон нест. Илова бар ин, аз сабаби мањдудиятњои майдони магнитии њадаф, дар сатњи њадафї таъсири магнитии минтаќае, ки дар дохили разряд ҷойгир аст, ин диапазони хурди консентратсияи электронҳо хеле баланд аст ва дар таъсири магнитии минтақа берун аз сатҳи субстрат, махсусан дуртар аз майдони магнитии наздикии сатҳ, консентратсияи электронҳо аз ҳисоби парокандашавии спстрат нисбат ба паҳншавии якхела ва нисбатан пасттар аст. (аз сабаби ду фарқияти фишори гази корӣ бо тартиби бузург). Зичии пасти электронҳое, ки рӯи заминро бомбаборон мекунанд, ба тавре ки бомбаборони оксиген дар натиҷаи баландшавии ҳарорати паст, ки механизми асосии баландшавии ҳарорати субстрат magnetron sputtering аст, паст аст. Гайр аз ин, агар танхо майдони электр мавчуд бошад, пас аз масофаи хеле кутох электронхо ба анод мерасанд ва эхтимолияти бархурд бо гази корй хамагй 63,8 фоизро ташкил медихад. Ва майдони магнитиро илова кунед, электронҳоро дар ҷараёни ҳаракат ба анод барои ҳаракати спиралӣ анҷом диҳед, майдони магнитиро ба ҳам пайваст кунед ва траекторияи электронҳоро дароз кунед, эҳтимолияти бархӯрди электронҳо ва газҳои кориро хеле беҳтар мекунад, ки ба пайдоиши ионизатсия, ионизатсия мусоидат мекунад ва сипас боз электронҳо низ ба раванди бархӯрд ҳамроҳ мешаванд, бузургй, самаранок истифода бурдани энергияи электронхо ва бо хамин дар хосил намудани зичии баланд Зичии плазма дар разряди дурахши аномалии плазма меафзояд. Суръати пошидани атомњо аз њадаф низ зиёд мешавад ва пошидани њадаф, ки дар натиљаи бомбаборонкунии њадаф аз тарафи ионњои мусбї ба вуљуд меояд, самараноктар аст, ки ин сабаби суръати баланди пошидани пошидани магнетрон мебошад. Илова бар ин, мавҷудияти майдони магнитӣ инчунин метавонад системаи пошиданро дар фишори ҳавои камтар кор кунад, пасти 1 барои фишори ҳаво метавонад ионҳоро дар минтақаи қабати ғилоф коҳиш диҳад, то бархӯрд, бомбаборон кардани ҳадаф бо энергияи кинетикии нисбатан калон ва рӯз барои коҳиш додани атомҳои ҳадафи пошидашуда ва бархӯрди гази нейтралӣ, пешгирӣ кардани атомҳои ҳадаф ба девори қафо пошидан ё ба девор афтидани онҳо. руй, барои баланд бардоштани суръат ва сифати пошидани плёнкаи тунук.
Майдони магнитии мақсаднок метавонад траекторияи электронҳоро ба таври муассир маҳдуд кунад, ки дар навбати худ ба хосиятҳои плазма ва пошидани ионҳо дар ҳадаф таъсир мерасонад.
Пайгирӣ: баланд бардоштани якрангии майдони магнитии мақсаднок метавонад якрангии қабати сатҳи ҳадафро афзоиш диҳад ва ба ин васила истифодаи маводи мавриди ҳадафро беҳтар кунад; тақсимоти оқилонаи майдони электромагнитӣ инчунин метавонад устувории раванди пошиданро ба таври муассир беҳтар созад. Аз ин рӯ, барои ҳадафи пошидани магнитрон, андоза ва тақсимоти майдони магнитӣ ниҳоят муҳим аст.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти интишор: Декабр-14-2023