Jonbeläggning innebär att reaktanterna eller de avdunstade materialen avsätts på substratet genom jonbombardemang av gasjoner eller avdunstade material medan de avdunstade materialen dissocieras eller gasutleds i en vakuumkammare. Den tekniska principen för hårdbeläggningsutrustning för ihålig katod är jonbeläggning för ihålig katod, vilket är en teknik för avsättning med urladdning av ihålig katod.
Om principen för avsättning av ihålig katodurladdning: Tekniken för avsättning av ihålig katodurladdning använder en het katodurladdning för att generera en plasmastråle, och katoden är ett ihåligt tantalrör. Katoden och hjälpanoden är placerade nära varandra, vilket är de två polerna som tänder bågurladdningen.
Urladdningsdeponeringspistolen för ihålig katod antänds på två sätt.
1. Ett högfrekvent elektriskt fält appliceras på katodtantalröret, så att katodtantalröret joniseras av argongas till argonjoner och sedan utlöses av katodtantalröret som kontinuerligt bombarderas med argonjoner tills värmen värms upp till minimitemperaturstandarden för elektronemission och genererar en plasmaelektronstråle.
2. I hjälpanoden och katodens tantalrör, där en likspänning på cirka 300 V likström appliceras, passerar katodens tantalrör fortfarande in i argongasen. Vid argongastrycket 1 Pa-10 Pa uppstår glödurladdningsfenomen mellan hjälpanoden och katodens tantalrör, vilket leder till konstant bombardemang av argonjoner mot katodens tantalrör. Upp till 2300 K-2400 K avger katodens tantalrör ett stort antal elektroner, vilket ändrar spänningen från "glödurladdning" till "bågurladdning". Spänningen är då så låg som 30 V-60 V. Så länge katoden och anoden är anslutna till strömförsörjningen kan en plasmaelektronstråle genereras.
Katodisk beläggningsutrustning
1. Förbättra den ursprungliga pistolstrukturen, från den ursprungliga maximala strömmen på 230A till 280A.
2. Förbättra den ursprungliga kylsystemets struktur, från den ursprungliga 4℃ isvattenmaskinkylningen till rumstemperaturkylning med vattenkylning, vilket sparar användarna elkostnader.
3, Förbättra den ursprungliga mekaniska transmissionsstrukturen, ändrad till magnetisk vätsketransmissionsstruktur, hög temperatur kommer inte att fastna i den roterande ramen.
4, den effektiva beläggningsarean 650X1100, kan rymma 750 X 1250X600 överdimensionerade matriser och kugghjulstillverkare av extra långa brotschar, med en mycket stor volym.
Den ihåliga katodjonbeläggningsmaskinen används huvudsakligen för plätering av verktyg, formar, stora spegelformar, plastformar, fräsknivar och andra produkter.
Publiceringstid: 7 november 2022