Motståndsvärme-avdunstningskällans struktur är enkel, lätt att använda och tillverka, och är den mest använda typen av avdunstningskälla. Folk kallas vanligtvis värmegenerator eller avdunstningsbåt.
Uppvärmningskraven för resistansmaterialet är: hög temperatur, resistivitet, lågt ångtryck vid höga temperaturer, ingen kemisk reaktion med membranmaterialet, ingen utgasning eller förorening. Valet av resistansvärmematerial består huvudsakligen av eldfasta metaller, såsom W, Mo, Ta och andra material, eller av hög renhet, höghållfast grafit eller bornitrid, syntetiskt ledande keramik och andra material. Ibland kan man även välja Fe, Ni, Ni-Cr-legeringar och Pt som avdunstningsmaterial.
Olika vanliga material (såsom Ti, Mo, C, Ta, W, etc.) har olika smältpunkts- och ångtrycks-/temperaturförhållandekurvor. Bland dessa blir volfram sprött när det värms upp till avdunstningstemperaturen på grund av värmeövergångsprodukten. Molybden, å andra sidan, varierar i renhet, där vissa blir spröda och andra inte. Volfram reagerar med vattenånga för att bilda den flyktiga syreföreningen WO3.
Därför, när volfram upphettas i kvarvarande vattenånga, utarmas det uppvärmda materialet kontinuerligt. När det kvarvarande gastrycket är lågt sker inte mycket materialförlust, men det är en allvarlig kontaminering av membranet.
Vid användning av filamentkällor bör man vara uppmärksam på hur membranmaterialet väts av den heta tråden. Till exempel, om temperaturen på den heta tråden stiger för snabbt, är det inte lätt för membranmaterialet att smälta allt membranmaterial omedelbart och vätningen av den heta tråden är otillräcklig. Som ett resultat kan den osmälta filmen falla ut ur trådkorgen. Samtidigt kommer en för snabb temperaturökning också att leda till att gasen i membranmaterialet frigörs snabbt, vilket resulterar i bubblor eller stänk, vilket leder till att små droppar fastnar på substratet. Därför bör filamentkällor användas med temperaturkontroll.
Den största nackdelen med trådkorgar, koniska spolar eller spiralspolar är att mängden stödfilmsmaterial är för liten, och denna källa kommer att orsaka att temperaturen på den varma tråden stiger när mängden filmmaterial minskar efter att filmmaterialet har avdunstat, vilket leder till att avdunstningshastigheten ökar. Detta är också ett problem som bör noteras för filmtillverkningsprocessen som kräver strikt kontroll av avdunstningshastigheten.
(2) Arbetsprincipen och strukturens form och användningsegenskaper
En motståndsvärme- eller avdunstningskälla är i själva verket en motståndsvärmare. Det är en direktström från en värmegenerator eller avdunstningsbåt, vilket leder en stor mängd joule genom strömmen och får hög temperatur för att smälta metallfilmmaterialet, vilket skapar en slags avdunstningskälla.
–Denna artikel är publicerad avtillverkare av vakuumbeläggningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publiceringstid: 23 februari 2024