1. Termisk CVD-teknik
Hårda beläggningar är mestadels metallkeramiska beläggningar (TiN, etc.), som bildas genom reaktion av metall i beläggningen och reaktiv förgasning. Till en början användes termisk CVD-teknik för att tillhandahålla aktiveringsenergin för kombinationsreaktionen genom termisk energi vid en hög temperatur på 1000 ℃. Denna temperatur är endast lämplig för avsättning av TiN och andra hårda beläggningar på hårdmetallverktyg. Hittills är det fortfarande en viktig teknik att avsätta TiN-Al20-kompositbeläggningar på hårdmetallverktygshuvuden.
2. Beläggning med hålkatodjoner och beläggning med hettrådsbågjoner
På 1980-talet användes jonbeläggning med ihålig katod och bågjonbeläggning med het tråd för att avsätta belagda skärverktyg. Båda dessa jonbeläggningstekniker är bågurladdningsjonbeläggningstekniker, med en metalljoniseringsgrad på upp till 20%~40%.
3. Katodbågjonbeläggning
Framväxten av katodisk bågjonbeläggning har lett till utvecklingen av tekniken för att avsätta hårda beläggningar på formar. Joniseringshastigheten för katodisk bågjonbeläggning är 60%~90%, vilket gör att ett stort antal metalljoner och reaktionsgasjoner kan nå arbetsstyckets yta och ändå bibehålla hög aktivitet, vilket resulterar i reaktionsavsättning och bildning av hårda beläggningar såsom TiN. För närvarande används katodisk bågjonbeläggningsteknik huvudsakligen för att avsätta hårda beläggningar på formar.
Katodbågskällan är en fastfasförångningskälla utan en fast smältbassäng, och bågskällans position kan placeras godtyckligt, vilket förbättrar utrymmesutnyttjandet i beläggningsrummet och ökar ugnens belastningskapacitet. Formerna på katodbågskällorna inkluderar små cirkulära katodbågskällor, kolumnära bågskällor och rektangulära platta stora bågskällor. Olika komponenter i små bågskällor, kolumnära bågskällor och stora bågskällor kan arrangeras separat för att avsätta flerskiktsfilmer och nano-flerskiktsfilmer. Samtidigt, på grund av den höga metalljoniseringshastigheten hos katodisk bågjonbeläggning, kan metalljoner absorbera mer reaktionsgaser, vilket resulterar i ett brett processområde och enkel drift för att erhålla utmärkta hårda beläggningar. Det finns dock grova droppar i mikrostrukturen hos beläggningsskiktet som erhålls genom katodisk bågjonbeläggning. Under senare år har många nya tekniker framkommit för att förfina filmskiktets struktur, vilket har förbättrat kvaliteten på bågjonbeläggningsfilmen.
——Denna artikel publicerades av Guangdong Zhenhua Technology, entillverkare av optiska beläggningsmaskiner.
Publiceringstid: 28 april 2023