Palapis ion hartina réaktan atawa bahan ngejat disimpen dina substrat ku bombardment ion tina ion gas atawa bahan ngejat bari bahan ngejat dissociated atawa gas discharged dina chamber vakum. Prinsip téknis alat palapis teuas katoda kerung nyaéta palapis ion katoda kerung, nu mangrupakeun téhnologi déposisi katoda kerung.
Ngeunaan prinsip déposisi pelepasan katoda kerung: Téhnik déposisi katoda kerung ngagunakeun pelepasan katoda panas pikeun ngahasilkeun sinar plasma, sareng katoda mangrupikeun tabung tantalum kerung. Katoda sareng anoda bantu caket silih, nyaéta dua kutub anu ngahurungkeun pelepasan busur.
Pistol déposisi katoda kerung hurung ku dua cara.
1, Pamakéan médan listrik frékuénsi luhur dilarapkeun ka tube tantalum katoda, ku kituna tabung katoda tantalum ionisasi gas argon kana ion argon lajeng dipicu ku tube tantalum katoda terus bombarded ku ion argon, nepi ka panas ka haneut nepi ka standar suhu minimum émisi éléktron sarta ngahasilkeun beam éléktron plasma.
2, Dina anoda bantu jeung katoda tantalum tube antara aplikasi ngeunaan 300V DC tegangan, nu katoda tantalum tube masih nembus kana gas argon, dina 1Pa-10Pa tekanan gas argon, anoda bantu jeung katoda tantalum tube glow fenomena ngurangan, generasi argon ion bombardment bombardment nepi ka cathode bombardment tube terus-terusan. Suhu 2300K-2400K, tabung tantalum katoda ngaluarkeun sajumlah ageung éléktron, bakal dirobih tina "discharge glow" janten "discharge arc", waktos ieu teganganna dugi ka 30V-60V, teras salami katoda sareng anoda antara catu daya, anjeun tiasa ngahasilkeun sinar éléktron plasma.
Parabot palapis katodik
1, Ningkatkeun struktur gun aslina, ti ayeuna maksimum aslina tina 230A mun 280A.
2, Ningkatkeun struktur sistem cooling aslina, ti 4 ℃ aslina mesin cai és cooling kana suhu kamar cooling cai cooling, nyimpen biaya listrik pikeun pamaké.
3, Ningkatkeun struktur transmisi mékanis aslina, robah jadi struktur transmisi cairan magnét, suhu luhur moal macet pigura puteran.
4, wewengkon palapis éféktif ￠ 650X1100, bisa nampung 750 X 1250X600 oversized paeh jeung pabrik gear of broach tambahan-lila, kalawan volume anu kacida gedéna.
The kerung mesin palapis ion katoda utamana dipaké dina plating pakakas, molds, molds eunteung badag, molds plastik, knives hobbing jeung produk lianna.
waktos pos: Nov-07-2022