Magnetron sputtering haholo-holo e kenyelletsa lipalangoang tsa plasma tse ntšang metsi, ho ts'oaroa ha sepheo, ho beoa ha filimi e tšesaane le lits'ebetso tse ling, matla a khoheli a ts'ebetso ea magnetron sputtering e tla ba le tšusumetso. Ka tsamaiso ea magnetron sputtering hammoho le orthogonal magnetic field, lielektrone li tlas'a karolo ea matla a Lorentz le ho etsa spiral trajectory movement, li tlameha ho thulana le ho thulana kamehla ho ea ho anode butle-butle, ka lebaka la ho thulana ho etsa karolo ea lielektrone ho fihlela anode ka mor'a hore matla a fokotsehe, mocheso o moholo oa bombardment holim'a substrate e boetse e ke ke ea e-ba teng. Ho phaella moo, ka lebaka la litšitiso tsa elektronike ka sepheo sa matla a khoheli, sebakeng sa sepheo sa matla a khoheli a sebaka seo se leng ka hare ho tsela ea ho phalla, sebaka sena se senyenyane sa mahloriso a elektronike se phahame haholo, 'me ka phello ea khoheli ea sebaka se ka ntle ho substrate, haholo-holo hole le matla a khoheli a haufi le holim'a metsi, mahloriso a elektronike ka lebaka la ho hasana ha maemo a tlase haholo le a batlang a lekana ho feta maemo a mabeli a sebetsang, esita le ho theola likarolo tse peli tsa likarolo tsa gasi. phapano ya kgatello ya taelo ya boholo). The segokanyipalo tlaase ea dieleketerone bombarding holim'a substrate, e le hore bombardment ea substrate bakoang ke ho phahama ka tlaase mocheso, e leng mochine o ka sehloohong oa magnetron sputtering substrate mocheso phahama e tlaase. Ho phaella moo, haeba ho na le tšimo ea motlakase feela, li-electrone li fihla ho anode ka mor'a sebaka se senyenyane haholo, 'me monyetla oa ho thulana le khase e sebetsang ke 63,8% feela. 'Me eketsa matla a khoheli, lielektrone nakong ea ho fallela ho anode ho etsa spiral tshisinyo, matla a khoheli tlameletsoe le ho atolosa trajectory ea dieleketerone, haholo ho ntlafatsa kgonego ya ho thulana ha lielektrone le likhase tse sebetsang, e leng haholo khothalletsang ketsahalo ea ionization, ionization le ka nako eo hape hlahisa dieleketerone e boetse e kopanela tshebetso ya ho thulana ha collision ka ho eketseha ha collision le ho eketseha ha collision, le ho eketseha ha collision ea matsoele. ts'ebeliso e atlehileng ea matla a lielektrone, 'me ka hona ho thehoeng ha sekhahla se phahameng sa "plasma density" se eketseha ka phallo e makatsang ea plasma. Sekhahla sa sputtering tsoa liathomo ho tswa ho shebiloeng e boetse e eketseha, 'me targeting sputtering bakoang ke bombardment ea shebiloeng ka ion positive, e leng lebaka la hore lebelo le phahameng la magnetron sputtering deposition. Ho phaella moo, ho ba teng ha matla a khoheli ho ka boela ha etsa hore tsamaiso ea sputtering e sebetse ka khatello e tlaase ea moea, tlaase 1 bakeng sa khatello ea moea e ka etsa li-ion sebakeng sa sheath ho fokotsa ho thulana, ho phatloha ha sepheo ka matla a maholo a kinetic, le letsatsi la ho khona ho fokotsa liathomo tse hlasetsoeng le ho thulana ha khase e sa jeleng paate, ho thibela lerako le lebisitsoeng ho tloha ho li-athomo tse sa tsitsang ho ea ho li-athomo tse sa tsitsang. holim'a metsi, ho ntlafatsa sekhahla le boleng ba ho beha filimi e tšesaane.
Matla a khoheli a shebiloeng a ka thibela ka nepo tselana ea lielektrone, e leng eona e amang thepa ea plasma le ho hooa ha li-ion ho sepheo.
Trace: ho eketsa ho ts'oana ha matla a khoheli a shebiloeng ho ka eketsa ho ts'oana ha sebaka seo u se shebileng, ka hona ho ntlafatsa ts'ebeliso ea thepa e shebiloeng; Kabo e nepahetseng ea tšimo ea motlakase le eona e ka ntlafatsa botsitso ba ts'ebetso ea sputtering. Ka hona, bakeng sa sepheo sa magnetron sputtering, boholo le kabo ea matla a khoheli ke tsa bohlokoa haholo.
-Sengoliloeng sena se lokolloa kemoetsi oa mochine oa vacuum coatingGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Dec-14-2023