Са све већим развојем распршивања, посебно технологије магнетронског распршивања, тренутно се за било који материјал може припремити филм за циљање јонским бомбардовањем. Пошто се мета распршује током процеса наношења премаза на неку врсту подлоге, квалитет измереног филма има важан утицај, стога су захтеви за материјал мете такође строжи. Приликом избора материјала мете, поред употребе самог филма, треба узети у обзир и следећа питања:
Циљни материјал треба да има добру механичку чврстоћу и хемијску стабилност након филма;
Мета и подлога морају бити чврсто спојени, у супротном треба узети подлогу са добром комбинацијом мембранског слоја, прво распршивањем основног филма, а затим припремом потребног мембранског слоја;
Како реакција распршивања у материјал мембране мора лако реаговати са гасом да би се створио сложени филм.
Под претпоставком испуњавања захтева перформанси мембране, разлика између коефицијента термичког ширења циљног материјала и подлоге је што мања, како би се минимизирао утицај термичког напрезања на распршену мембрану.
Према захтевима за употребу и перформансе мембране, циљни материјал мора испуњавати чистоћу, садржај нечистоћа, уједначеност компоненти, тачност обраде и друге техничке захтеве.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 09. јануар 2024.