Kala-soocidda Magnetron inta badan waxaa ka mid ah gaadiidka balaasmaha ee dheecaanka ah, etching bartilmaameedka, dhigista filimka khafiifka ah iyo hababka kale, goobta magnetic ee habka xajinta magnetron waxay yeelan doontaa saameyn. In nidaamka sputtering magnetron ah oo lagu daray orthogonal magnetic field, electrons waxay ku xiran yihiin doorka Lorentz xoogga iyo sameeyaan dhaqdhaqaaqa wareega wareega, waa in ay maraan shil joogto ah si ay si tartiib tartiib ah u guurto anode ah, sababta oo ah isku dhaca ka dhigaysa qayb ka mid ah electrons si ay u gaaraan anode ka dib markii tamarta waa yar yahay, kulaylka ee duqeyn on substrate sidoo kale ma weyn. Intaa waxaa dheer, sababta oo ah elektarooniga by xaddidaadaha magnetic bartilmaameedka, ee dusha bartilmaameedka ee saamaynta magnetic gobolka in uu yahay gudaha runway dheecaan this kala duwan ee deegaanka yar ee fiirsashada elektarooniga ah waa mid aad u sarreeya, iyo in saamaynta magnetic ee gobolka ka baxsan dusha substrate ah, gaar ahaan ka fog garoonka magnetic ee u dhow dusha sare, fiirsashada elektarooniga ay sabab u tahay kala firidhsan ee wax badan ka hooseeya iyo xad u gaar ah xaaladaha gaaska, iyo xataa sprica ka badan laba nooc oo ka mid ah gaaska kala duwanaansho, oo kala sarreeya). Cufnaanta hoose ee elektaroonigga ah ee duqeeya dusha sare ee substrate-ka, si ay u duqeeyaan substrate-ka ay sababto kor u kaca heerkulka hoose, taas oo ah habka ugu muhiimsan ee magnetron sputtering substrate kor u kaca heerkulka hooseeyo. Intaa waxaa dheer, haddii ay jirto kaliya beer koronto, electrons-ku waxay gaaraan anode ka dib masaafo aad u gaaban, iyo suurtogalnimada isku dhaca gaaska shaqada waa 63.8% kaliya. Oo ku dar duurka magnetic, electrons in geeddi-socodka ah u guurto anode si ay u sameeyaan dhaqdhaqaaqa wareegyada, duurka magnetic ku xidhan iyo kordhin trajectory ee electrons, si weyn u hagaajinaysa itimaalka shil ee electrons iyo gaaska shaqada, taas oo si weyn kor u dhacdo ionization, ionization iyo ka dibna mar kale soo saaro electrons sidoo kale ku biiri karaa habka of isku dhacyada dhowr ah, taas oo noqon karta isku dhac ah oo dhowr ah. baaxadda, isticmaalka waxtarka leh ee tamarta elektaroonigga ah, oo sidaas darteed samaynta cufnaanta sare ee cufnaanta plasma waxay kordhisaa qulqulka dhalaalka aan caadiga ahayn ee balasmaha. Waxa kale oo korodhay xadiga xadhkaha xadhkaha goosha ee bartilmaameedka, iyo xadhkaha bartilmaameedka ah ee ay keento duqaynta bartilmaameedka ee ion togan ayaa aad waxtar u leh, taas oo ah sababta heerka sare ee xajinta magnetron-ka. Intaa waxaa dheer, joogitaanka garoonka magnetic sidoo kale ka dhigi kartaa nidaamka sputtering ka shaqeeya cadaadiska hawada hoose, hooseeyo 1 ee cadaadiska hawada ka dhigi kartaa ions ee gobolka lakabka galka si loo yareeyo isku dhaca, duqeynta bartilmaameedka la tamar kinetic xad weyn, iyo maalinta si ay u awoodaan si ay u yareeyaan atamka bartilmaameedka sputtered iyo gaaska dhexdhexaad ah shil, si looga hortago in atamka bartilmaameedka ah ee dib u firdhiso, si looga hortago in atomyada bartilmaameedka si ay u firdhiso qalabka dib u firdhiso. heerka iyo tayada dhigaalka filimka khafiifka ah.
Goobta magnetka ee la beegsanayo waxay si wax ku ool ah u xakameyn kartaa jihada elektaroonigga ah, taas oo iyana saameynaysa sifooyinka balaasmaha iyo xoqidda ions ee bartilmaameedka.
Raad raac: kordhinta isku midka ah ee goobta magnetic bartilmaameedku waxay kordhin kartaa isku mid ahaanshaha etching dusha sare ee bartilmaameedka, sidaas darteed hagaajinta isticmaalka walxaha bartilmaameedka; Qaybinta goobta korantada ee macquulka ah waxay sidoo kale si wax ku ool ah u wanaajin kartaa xasilloonida habka xajinta. Sidaa darteed, bartilmaameedka sputtering magnetron, cabbirka iyo qaybinta goobta magnetic waa mid aad muhiim u ah.
–Maqaalkan waxa soo saaraysoo saaraha mashiinka daahan vacuumGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Dec-14-2023