Iónové nanášanie znamená, že reaktanty alebo odparené materiály sa nanášajú na substrát iónovým bombardovaním plynnými iónmi alebo odparenými materiálmi, zatiaľ čo odparené materiály sa disociujú alebo sa plyn vybíja vo vákuovej komore. Technickým princípom zariadenia na tvrdé nanášanie s dutou katódou je iónové nanášanie s dutou katódou, čo je technológia nanášania s dutým katódovým výbojom.
O princípe nanášania výbojom s dutou katódou: Technika nanášania výbojom s dutou katódou využíva na generovanie plazmového lúča výboj s horúcou katódou, pričom katódou je dutá tantalová trubica. Katóda a pomocná anóda sú blízko seba, čo sú dva póly, ktoré zapaľujú oblúkový výboj.
Dutá katódová výbojová depozičná pištoľ sa zapaľuje dvoma spôsobmi.
1. Použitie vysokofrekvenčného elektrického poľa aplikovaného na katódu tantalovej trubice, takže katóda tantalovej trubice ionizuje argónový plyn na argónové ióny a potom sa aktivuje kontinuálnym bombardovaním katódy tantalovou trubicou argónovými iónmi, kým sa teplo nezahreje na minimálnu teplotu štandardnej emisie elektrónov a nevytvorí plazmový elektrónový lúč.
2. V pomocnej anóde a katóde tantalovej trubice medzi aplikáciou jednosmerného napätia približne 300 V prechádza katóda tantalovej trubice do argónového plynu. Pri tlaku argónu 1 Pa až 10 Pa dochádza k javu tlejúceho výboja v pomocnej anóde a katóde tantalovej trubice. Pri neustálej bombardovaní katódou tantalovej trubice argónovými iónmi dochádza k bombardovaniu katódy tantalovou trubicou. Pri teplote 2300 K až 2400 K katóda tantalovej trubice emituje veľké množstvo elektrónov. Zmena z „tlejúceho výboja“ na „oblúkový výboj“ sa zmení na „oblúkový výboj“. Napätie medzi katódou a anódou je v rozmedzí 30 V až 60 V. Pokiaľ je katóda a anóda napájaná, môže sa generovať plazmový elektrónový lúč.
Zariadenie na katódové nanášanie
1. Vylepšite pôvodnú štruktúru pištole z pôvodného maximálneho prúdu 230 A na 280 A.
2. Vylepšite pôvodnú štruktúru chladiaceho systému z pôvodného chladenia stroja na ľadovú vodu s teplotou 4 ℃ na chladenie vodou pri izbovej teplote, čím ušetríte náklady na elektrinu pre používateľov.
3, Vylepšite pôvodnú štruktúru mechanického prenosu, zmeňte ju na štruktúru prenosu magnetickej kvapaliny, vysoká teplota nezasekne rotujúci rám.
4, efektívna plocha povlaku ￠ 650X1100, môže pojať 750 X 1250X600 nadrozmerných matríc a ozubených kolies výrobcov extra dlhých preťahovákov s veľmi veľkým objemom.
Stroj na pokovovanie s dutou katódou a iónmi sa používa hlavne na pokovovanie nástrojov, foriem, veľkých zrkadlových foriem, plastových foriem, odvaľovacích nožov a iných výrobkov.
Čas uverejnenia: 7. novembra 2022