Zdroj odparovania s odporovým ohrevom je jednoduchý, ľahko sa používa a ľahko sa vyrába, čo ho robí najpoužívanejším druhom zdroja odparovania. Ľudia ho zvyčajne nazývajú generátorom tepla alebo odparovacím člnom.
Požiadavky na použitý odporový materiál pri vykurovaní sú: vysoká teplota, merný odpor, nízky tlak pár pri vysokých teplotách, žiadna chemická reakcia s membránovým materiálom, nespôsobenie odplynenia a znečistenia. Vyberané odporové vykurovacie materiály sú prevažne zo žiaruvzdorných kovov, ako sú W, Mo, Ta a iné materiály, alebo výber vysoko čistého, vysoko pevného grafitu alebo syntetickej vodivej keramiky na báze nitridu bóru a iných materiálov. Niekedy sa ako zdroj odparovania môžu zvoliť aj Fe, Ni, zliatiny Ni-Cr a Pt.
Rôzne bežné materiály (ako napríklad Ti, Mo, C, Ta, W atď.) majú rôzne body topenia a krivky závislosti tlaku pár od teploty. Volfrám sa pri zahriatí na teplotu vyparovania stáva krehkým kvôli produktu tepelného spojenia. Molybdén sa naopak líši v čistote, niektoré krehnú a iné nie. Volfrám reaguje s vodnou parou za vzniku prchavej kyslíkatej zlúčeniny WO3.
Preto, keď sa volfrám zahrieva v zvyškovej vodnej pare, zahrievaný materiál sa neustále vyčerpáva. Keď je tlak zvyškového plynu nízky, nedochádza k veľkým stratám materiálu, ale dochádza k vážnej kontaminácii membrány.
Pri použití vláknitých zdrojov by sa mala dbať na to, aby sa horúci drôt zmáčaval s membránovým materiálom. Napríklad, ak teplota horúceho drôtu stúpne príliš rýchlo, membránový materiál sa ľahko neroztaví a zmáčanie horúceho drôtu nie je dostatočné. V dôsledku toho môže neroztavená vrstva vypadnúť z drôteného koša. Zároveň príliš rýchly nárast teploty spôsobí, že plyn v membránovom materiáli sa rýchlo uvoľní, čo vedie k tvorbe bublín alebo striekaniu, čo vedie k tvorbe malých kvapôčok, ktoré sa prilepia na substrát. Preto by sa vláknové zdroje mali používať s reguláciou teploty.
Hlavnou nevýhodou drôtených košov, kužeľových cievok alebo špirálových cievok je, že množstvo nosného filmu je príliš malé a tento zdroj spôsobí zvýšenie teploty horúceho drôtu, keďže množstvo filmu sa po odparení znižuje, čo spôsobí zvýšenie rýchlosti odparovania. Toto je tiež problém, ktorý treba zvážiť pri procese výroby filmu, ktorý vyžaduje prísnu kontrolu rýchlosti odparovania.
(2) Princíp fungovania, tvar a charakteristika použitia konštrukcie
Zdrojom odparovania s odporovým ohrevom je v skutočnosti odporový ohrievač, ktorý využíva priamo napájaný generátor tepla alebo odparovaciu nádobu, takže prúd cez veľké množstvo Jouleovho tepla prechádza vysokou teplotou a roztaví kovový film, čím sa jeho odparovanie stáva akýmsi zdrojom odparovania.
–Tento článok vydávavýrobca vákuových lakovacích strojovGuangdong Zhenhua
Čas uverejnenia: 23. februára 2024