1. Technológia tepelného CVD
Tvrdé povlaky sú väčšinou kovovo-keramické povlaky (TiN atď.), ktoré vznikajú reakciou kovu v povlaku a reaktívnym splyňovaním. Spočiatku sa na zabezpečenie aktivačnej energie kombinovanej reakcie tepelnou energiou pri vysokej teplote 1000 ℃ používala technológia tepelného CVD. Táto teplota je vhodná iba na nanášanie TiN a iných tvrdých povlakov na nástroje zo spekaného karbidu. Doteraz je stále dôležitou technológiou nanášanie kompozitných povlakov TiN-Al20 na hlavice nástrojov zo spekaného karbidu.
2. Iónový povlak s dutou katódou a iónový povlak s horúcim drôtom
V 80. rokoch 20. storočia sa na nanášanie povlakov na rezné nástroje používalo iónové nanášanie s dutou katódou a iónové nanášanie horúcim drôtom. Obe tieto technológie iónového nanášania sú technológie iónového nanášania s oblúkovým výbojom s mierou ionizácie kovu až 20 % až 40 %.
3. Iónové nanášanie katódovým oblúkom
Vznik katódového oblúkového iónového povlakovania viedol k vývoju technológie nanášania tvrdých povlakov na formy. Miera ionizácie katódového oblúkového iónového povlakovania je 60 % až 90 %, čo umožňuje veľkému množstvu kovových iónov a iónov reakčných plynov dosiahnuť povrch obrobku a zároveň si zachovať vysokú aktivitu, čo vedie k reakčnému nanášaniu a tvorbe tvrdých povlakov, ako je TiN. V súčasnosti sa technológia katódového oblúkového iónového povlakovania používa hlavne na nanášanie tvrdých povlakov na formy.
Katódový oblúkový zdroj je zdroj odparovania v pevnom skupenstve bez pevnej taveniny a poloha zdroja oblúka sa dá ľubovoľne umiestniť, čo zlepšuje mieru využitia priestoru v nanášacej miestnosti a zvyšuje kapacitu pece. Tvary katódových oblúkových zdrojov zahŕňajú malé kruhové katódové oblúkové zdroje, stĺpcové oblúkové zdroje a obdĺžnikové ploché veľké oblúkové zdroje. Rôzne komponenty malých oblúkových zdrojov, stĺpcových oblúkových zdrojov a veľkých oblúkových zdrojov sa dajú usporiadať samostatne na nanášanie viacvrstvových filmov a nano viacvrstvových filmov. Vďaka vysokej rýchlosti ionizácie kovu pri katódovom oblúkovom iónovom nanášaní môžu kovové ióny absorbovať viac reakčných plynov, čo vedie k širokému rozsahu procesov a jednoduchej prevádzke na získanie vynikajúcich tvrdých povlakov. V mikroštruktúre povlakovej vrstvy získanej katódovým oblúkovým iónovým nanášaním sa však nachádzajú hrubé kvapôčky. V posledných rokoch sa objavilo mnoho nových technológií na zdokonalenie štruktúry vrstvy filmu, čo zlepšilo kvalitu filmu nanášaného oblúkovým iónovým nanášaním.
——Tento článok vydala spoločnosť Guangdong Zhenhua Technology,výrobca optických nanášacích strojov.
Čas uverejnenia: 28. apríla 2023