1. තාප CVD තාක්ෂණය
දෘඩ ආලේපන බොහෝ දුරට ලෝහ සෙරමික් ආලේපන (TiN, ආදිය) වන අතර ඒවා ආලේපනයේ ලෝහ ප්රතික්රියාව සහ ප්රතික්රියාශීලී වායුකරණය මගින් සෑදී ඇත. මුලදී, තාප CVD තාක්ෂණය භාවිතා කරන ලද්දේ 1000 ℃ ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී තාප ශක්තිය මගින් සංයෝජන ප්රතික්රියාවේ සක්රීය කිරීමේ ශක්තිය සැපයීම සඳහා ය. මෙම උෂ්ණත්වය සිමෙන්ති කාබයිඩ් මෙවලම් මත TiN සහ අනෙකුත් දෘඩ ආලේපන තැන්පත් කිරීම සඳහා පමණි. මේ දක්වා, සිමෙන්ති කාබයිඩ් මෙවලම් හිස් මත TiN-Al20 සංයුක්ත ආලේපන තැන්පත් කිරීම තවමත් වැදගත් තාක්ෂණයකි.
2. හිස් කැතෝඩ අයන ආලේපනය සහ උණුසුම් වයර් චාප අයන ආලේපනය
1980 ගණන්වලදී, ආලේපිත කැපුම් මෙවලම් තැන්පත් කිරීම සඳහා හිස් කැතෝඩ අයන ආලේපනය සහ උණුසුම් වයර් චාප අයන ආලේපනය භාවිතා කරන ලදී. මෙම අයන ආලේපන තාක්ෂණයන් දෙකම චාප විසර්ජන අයන ආලේපන තාක්ෂණයන් වන අතර, ලෝහ අයනීකරණ අනුපාතය 20%~40% දක්වා වේ.
3. කැතෝඩ චාප අයන ආලේපනය
කැතෝඩික් චාප අයන ආලේපනයේ මතුවීම අච්චු මත දෘඩ ආලේපන තැන්පත් කිරීමේ තාක්ෂණයේ දියුණුවට හේතු වී ඇත. කැතෝඩික් චාප අයන ආලේපනයේ අයනීකරණ අනුපාතය 60%~90% වන අතර එමඟින් ලෝහ අයන සහ ප්රතික්රියා වායු අයන විශාල සංඛ්යාවක් වැඩ කොටසෙහි මතුපිටට ළඟා වීමට සහ තවමත් ඉහළ ක්රියාකාරිත්වයක් පවත්වා ගැනීමට ඉඩ සලසයි, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස ප්රතික්රියා තැන්පත් වීම සහ TiN වැනි දෘඩ ආලේපන සෑදීම සිදුවේ. වර්තමානයේ, කැතෝඩික් චාප අයන ආලේපන තාක්ෂණය ප්රධාන වශයෙන් අච්චු මත දෘඩ ආලේපන තැන්පත් කිරීමට භාවිතා කරයි.
කැතෝඩ චාප ප්රභවය ස්ථාවර උණු කළ තටාකයක් නොමැතිව ඝන-තත්ව වාෂ්පීකරණ ප්රභවයක් වන අතර, චාප ප්රභව ස්ථානය අත්තනෝමතික ලෙස ස්ථානගත කළ හැකි අතර, ආලේපන කාමරයේ අවකාශ උපයෝගිතා අනුපාතය වැඩිදියුණු කර උදුන පැටවීමේ ධාරිතාව වැඩි කරයි. කැතෝඩ චාප ප්රභවයන්ගේ හැඩතලවලට කුඩා රවුම් කැතෝඩ චාප ප්රභවයන්, තීරු චාප ප්රභවයන් සහ සෘජුකෝණාස්රාකාර පැතලි විශාල චාප ප්රභවයන් ඇතුළත් වේ. කුඩා චාප ප්රභවයන්, තීරු චාප ප්රභවයන් සහ විශාල චාප ප්රභවයන්හි විවිධ සංරචක බහු ස්ථර පටල සහ නැනෝ බහු ස්ථර පටල තැන්පත් කිරීම සඳහා වෙන වෙනම සකස් කළ හැකිය. මේ අතර, කැතෝඩ චාප අයන ආලේපනයේ ඉහළ ලෝහ අයනීකරණ අනුපාතය හේතුවෙන්, ලෝහ අයනවලට වැඩි ප්රතික්රියා වායූන් අවශෝෂණය කර ගත හැකි අතර, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස විශිෂ්ට දෘඩ ආලේපන ලබා ගැනීම සඳහා පුළුල් ක්රියාවලි පරාසයක් සහ සරල ක්රියාකාරිත්වයක් ඇති වේ. කෙසේ වෙතත්, කැතෝඩ චාප අයන ආලේපනයෙන් ලබාගත් ආලේපන ස්ථරයේ ක්ෂුද්ර ව්යුහයේ රළු බිංදු ඇත. මෑත වසරවලදී, පටල ස්ථරයේ ව්යුහය පිරිපහදු කිරීම සඳහා බොහෝ නව තාක්ෂණයන් මතු වී ඇති අතර එමඟින් චාප අයන ආලේපන පටලයේ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කර ඇත.
——මෙම ලිපිය නිකුත් කරන ලද්දේ ගුවැන්ඩොං ෂෙන්හුවා ටෙක්නොලොජි විසිනි, ඒදෘශ්ය ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයා.
පළ කිරීමේ කාලය: අප්රේල්-28-2023