Uruhare rwa Magnetique Umwanya muri Magnetron

Imashini ya Magnetron ikubiyemo cyane cyane gusohora plasma yo gutwara, gutondekanya intego, gushira firime yoroheje hamwe nibindi bikorwa, umurima wa magneti kumurongo wa magnetron uzunguruka bizagira ingaruka. Muri sisitemu ya magnetron yongeweho hiyongereyeho na magnetiki ya magnetiki yumuriro, electron zigengwa nuruhare rwingufu za Lorentz kandi zigakora ingendo ya spiral trayectory, zigomba guhora zigongana kugirango zimuke buhoro buhoro kuri anode, kubera kugongana bituma igice cya electron kigera kuri anode nyuma yingufu nkeya, ubushyuhe bwibisasu kuri substrate nabyo ntabwo ari binini. Byongeye kandi, kubera electron ukoresheje imbogamizi yumurima wa magneti, hejuru yintego yibikorwa bya magnetiki yakarere kari mumihanda yo gusohora iyi ntera ntoya ya elegitoronike yibanze cyane, kandi no mubikorwa bya magnetique yakarere kari hanze yubutaka bwa substrate, cyane cyane kure yumurima wa magnetiki hafi yubuso, kwibanda kuri electron bitewe no gukwirakwiza ibintu biri munsi yikwirakwizwa rya gaze ya dipole. Ubucucike buke bwa electroni butera hejuru ya substrate, kuburyo ibisasu bya substrate biterwa no kuzamuka kwubushyuhe bwo hasi, aribwo buryo nyamukuru bwo gukwirakwiza magnetron kuzamuka kwubushyuhe buri hasi. Byongeye kandi, niba hari umurima wamashanyarazi gusa, electron zigera kuri anode nyuma yintera ngufi cyane, kandi amahirwe yo kugongana na gaze ikora ni 63.8% gusa. Kandi ongeraho umurima wa magneti, electron mugikorwa cyo kwimukira kuri anode kugirango ukore icyerekezo kizunguruka, umurima wa magneti uhambiriye kandi ukagura trayectory ya electron, bigatera imbere cyane amahirwe yo kugongana kwa electron na gaze ikora, ibyo bikaba biteza imbere cyane ko habaho ionisiyoneri, ionisiyoneri hanyuma ukongera kubyara electroni nazo zifatanya muburyo bwo kugongana, imbaraga zo kugongana zirashobora kwiyongera muburyo butandukanye bwo gukomera, imbaraga zishobora gukomera no gukomera kwinshi, imbaraga zo gukomera hamwe nubushobozi bwinshi, imbaraga zokugabanuka kwinshi, imbaraga zo gukomera kwinshi, imbaraga zokugabanuka kwinshi, imbaraga zo gukomera kwinshi, imbaraga zo gukomera kwinshi, imbaraga zo gukomera kwinshi, imbaraga zo gukomera kwinshi. ubwinshi bwa plasma bwiyongera muburyo budasanzwe bwo gusohora plasma. Umuvuduko wo gusohora atome uva ku ntego nawo uriyongera, kandi gusohora intego biterwa no gutera ibisasu kuri ion nziza birakorwa neza, akaba ari yo mpamvu itera umuvuduko mwinshi wa magnetron. Byongeye kandi, kuba hari umurima wa magneti urashobora kandi gutuma sisitemu yo gusohora ikora kumuvuduko muke wikirere, hasi ya 1 kumuvuduko wikirere irashobora gukora ion mukarere ka sheath layer kugirango igabanye kugongana, gutera ibisasu ku ntego hamwe ningufu nini za kinetic, kandi umunsi wo gushobora kugabanya atome zashizwemo hamwe na gazi itabogamye kugirango igabanye igipimo cya burebure kugeza kuri bisi kugirango igabanuke kugeza ku rukuta rw'ibikoresho kugira ngo bitangwe kugeza ku gipimo cy’ibikoresho kugira ngo bitangwe neza. kubitsa.

Intego ya magnetiki yumwanya irashobora kubuza neza inzira ya electron, nayo igira ingaruka kumiterere ya plasma no guterwa kwa ion kurugero.

Ikurikiranwa: kongera uburinganire bwumwanya wa magnetiki wumurima urashobora kongera uburinganire bwikibanza cyateganijwe, bityo bikazamura imikoreshereze yibikoresho bigenewe; gukwirakwiza amashanyarazi yumuriro birashobora kandi kunoza neza ituze ryimikorere. Kubwibyo, kuri magnetron gusohora intego, ingano nogukwirakwiza umurima wa magneti ni ngombwa cyane.

–Iyi ngingo yasohowe naimashini ikora imashiniGuangdong Zhenhua