Каков технический принцип работы оборудования для нанесения твердого покрытия с полым катодом?

Ионное покрытие означает, что реагенты или испаренные материалы осаждаются на подложке посредством ионной бомбардировки ионами газа или испаренными материалами, в то время как испаренные материалы диссоциируют или разряжаются газом в вакуумной камере. Технический принцип оборудования для твердого покрытия полого катода - это ионное покрытие полого катода, которое является технологией осаждения разрядом полого катода.

О принципе осаждения разряда полого катода: Метод осаждения разряда полого катода использует разряд горячего катода для генерации плазменного пучка, а катод представляет собой полую танталовую трубку. Катод и вспомогательный анод находятся близко друг к другу, что является двумя полюсами, которые зажигают дуговой разряд.

Пистолет для осаждения с полым катодом зажигается двумя способами.
1. Использование высокочастотного электрического поля, приложенного к катодной танталовой трубке, таким образом, что аргоновый газ катодной танталовой трубки ионизируется в ионы аргона, а затем катодная танталовая трубка непрерывно бомбардируется ионами аргона, пока тепло не нагреется до минимальной температуры стандарта электронной эмиссии и не сгенерирует плазменный электронный луч.

2. В вспомогательном аноде и катоде танталовой трубки между приложением напряжения постоянного тока около 300 В катод танталовой трубки все еще переходит в газ аргона, при давлении газа аргона 1 Па-10 Па явление тлеющего разряда вспомогательного анода и катода танталовой трубки, генерация бомбардировки ионами аргона постоянно бомбардирует катод танталовой трубки, до температуры 2300 К-2400 К катод танталовой трубки испускает большое количество электронов, будет меняться от «тлеющего разряда» к «дуговому разряду», на этот раз напряжение составляет всего 30 В-60 В, затем, пока катод и анод находятся между источником питания, вы можете генерировать плазменный электронный пучок.

Оборудование для катодного покрытия
1. Улучшение оригинальной конструкции пистолета: максимальный ток увеличен с 230 А до 280 А.
2. Улучшение первоначальной структуры системы охлаждения: от первоначального охлаждения ледяной водой с температурой 4℃ до охлаждения водой комнатной температуры, что позволяет пользователям экономить электроэнергию.
3. Улучшена первоначальная структура механической трансмиссии, заменена на структуру трансмиссии с магнитной жидкостью, высокая температура не будет заклинивать вращающуюся раму.
4, эффективная площадь покрытия ￠ 650X1100, может вместить 750 X 1250X600 крупногабаритных штампов и производителей шестерен сверхдлинной протяжки, с очень большим объемом.

Машина для нанесения ионного покрытия с полым катодом в основном используется для нанесения покрытия на инструменты, формы, большие формы для зеркал, пластиковые формы, червячные ножи и другие изделия.