С ростом развития технологии нанесения покрытий методом распыления, особенно технологии нанесения покрытий методом магнетронного распыления, в настоящее время для любого материала можно приготовить пленку-мишень с помощью ионной бомбардировки, поскольку мишень распыляется в процессе нанесения ее на какую-либо подложку, качество измеряемой пленки имеет важное влияние, поэтому требования к материалу мишени также более строгие. При выборе материала мишени, помимо использования самой пленки, следует также учитывать следующие вопросы:
Материал мишени должен обладать хорошей механической прочностью и химической стабильностью после нанесения пленки;
Мишень и подложка должны быть прочно соединены, в противном случае следует взять подложку с хорошим совмещением мембранного слоя, сначала напылив базовую пленку, а затем подготовить требуемый мембранный слой;
В процессе реакции распыления в мембрану материал должен легко вступать в реакцию с газом, образуя композитную пленку.
Исходя из предпосылки соответствия эксплуатационным требованиям мембраны, разница между коэффициентом теплового расширения материала мишени и подложки должна быть как можно меньше, чтобы минимизировать влияние термического напряжения на распыляемую мембрану.
В соответствии с требованиями к использованию и эксплуатационным характеристикам мембраны целевой материал должен соответствовать чистоте, содержанию примесей, однородности компонентов, точности обработки и другим техническим требованиям.
–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа
Время публикации: 09.01.2024