Структура источника испарения с резистивным нагревом проста, удобна в использовании, легка в изготовлении, является наиболее широко используемым видом источника испарения. Люди обычно называют его генератором тепла или испарительной лодкой.
Требования к нагреванию используемого резистивного материала: высокая температура, удельное сопротивление, низкое давление паров при высоких температурах, отсутствие химической реакции с материалом мембраны, отсутствие выделения газа и загрязнения. Выбранные резистивные нагревательные материалы в основном из тугоплавких металлов, таких как W, Mo, Ta и других материалов или выбор высокочистого, высокопрочного графита или нитрид бора, синтетической проводящей керамики и других материалов. Иногда можно также выбрать Fe, Ni, сплав Ni-Cr и Pt в качестве исходного материала для испарения.
Различные источники испарения при нагревании сопротивлением распространенных материалов (таких как Ti, Mo, C, Ta, W и т. д.) кривые зависимости температуры плавления и давления паров от температуры различны. Среди них вольфрам становится хрупким при нагревании до температуры испарения из-за продукта нагревательного спая. Молибден, с другой стороны, различается по чистоте, некоторые становятся хрупкими, а другие нет. Вольфрам реагирует с водяным паром, образуя летучее кислородное соединение WO3.
Поэтому при нагревании вольфрама в остаточном водяном паре происходит непрерывное истощение нагретого материала. При низком давлении остаточного газа потери материала невелики, но происходит серьезное загрязнение мембраны.
При использовании нитевидных источников следует обратить внимание на смачивание горячей проволоки на мембранном материале. Например, если температура горячей проволоки повышается слишком быстро, материал мембраны не может сразу расплавить весь материал мембраны, а смачивание горячей проволоки недостаточно. В результате нерасплавленная пленка может выпасть из корзины с проволокой. В то же время, слишком быстрое повышение температуры также приведет к быстрому высвобождению газа из мембранного материала, что приведет к образованию пузырьков или разбрызгивания, в результате чего образуются мелкие капли, прилипающие к подложке. Поэтому нитевидные источники следует использовать с контролем температуры.
Основным недостатком проволочных корзин, конических катушек или спиральных катушек является то, что количество поддерживающего пленочного материала слишком мало, и этот источник приведет к повышению температуры горячей проволоки по мере уменьшения количества пленочного материала после испарения пленочного материала, что приведет к повышению скорости испарения. Это также проблема, которую следует отметить для процесса изготовления пленки, требующего строгого контроля скорости испарения.
(2) Принцип работы, структура, форма и особенности использования
Источником испарения с резистивным нагревом, по сути, является резистивный нагреватель, он использует генератор тепла или испарительную лодку, напрямую запитанную энергией, так что ток через большое количество джоулевого тепла и получает высокую температуру для расплавления материала металлической пленки, так что его испарение является своего рода источником испарения.
–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа
Время публикации: 23 февр. 2024 г.