Confruntarea cu creșterea peliculei are un impact foarte important. Dacă rugozitatea suprafeței substratului este mare și se combină din ce în ce mai mult cu defecte de suprafață, aceasta va afecta rata de atașare și creștere a peliculei. Prin urmare, înainte de începerea acoperirii în vid, substratul va fi pre-procesat, ceea ce joacă rolul rugozității suprafeței substratului pe suprafața substratului. După intervenția cu ultrasunete, suprafața substratului va forma o mică zgârietură, ceea ce crește aria de contact a particulelor de peliculă subțire cu suprafața substratului, ceea ce poate crește semnificativ formalitatea rotorului și combinația dintre baza membranei.
Pentru majoritatea materialelor substrat, pe măsură ce rugozitatea substratului scade, aderența peliculei crește, adică forța de legare a bazei membranei devine mai puternică; există, de asemenea, unele materiale substrat care reprezintă cazuri speciale, cum ar fi atașarea peliculei de pe baza ceramică. Pe măsură ce rugozitatea substratului scade, adică forța de legare a bazei membranei slăbește.
În ceea ce privește factorii de influență care influențează filmul și filmul, coeficientul termic de vrac joacă un rol decisiv. Când coeficientul de dilatare termică al filmului este mai mare decât coeficientul de dilatare termică al matricei, cuplul este negativ, iar tensiunea maximă este la limita liberă. Este aproape de centrul centrului pentru a fi comprimat, iar filmul poate apărea stratificat. Luați ca exemplu filmul subțire Skinus sedimentar. Deoarece coeficientul de dilatare termică al diamantului este mic, atunci când depunerea în fază gazoasă se termină, temperatura substratului scade de la o temperatură sedimentară mai mare la temperatura camerei, iar contracția diamantului este redusă în comparație cu substratul. În interior se va produce o tensiune termică mare. Când coeficientul de dilatare termică al filmului este mai mic decât coeficientul de încălzire al substratului, cuplul este pozitiv, iar filmul nu este ușor de stratificat.
–Acest articol este publicat deproducător de mașini de acoperire în vidGuangdong Zhenhua
Data publicării: 29 februarie 2024