Odată cu dezvoltarea tot mai mare a acoperirii prin pulverizare catodică, în special a tehnologiei de acoperire prin pulverizare catodică magnetronică, în prezent, orice material poate fi preparat cu o peliculă țintă prin bombardament ionic. Deoarece ținta este pulverizată în procesul de acoperire pe un anumit tip de substrat, calitatea peliculei măsurate are un impact important, prin urmare, cerințele pentru materialul țintă sunt, de asemenea, mai stricte. La alegerea materialului țintă, pe lângă utilizarea peliculei în sine, ar trebui să se ia în considerare și următoarele aspecte:
Materialul țintă trebuie să aibă o bună rezistență mecanică și stabilitate chimică după peliculă;
Ținta și substratul trebuie să fie strâns combinate, în caz contrar, dacă substratul are o combinație bună de straturi de membrană, mai întâi se pulverizează o peliculă de bază și apoi se prepară stratul de membrană necesar;
Ca reacție, pulverizarea în membrană trebuie să fie ușoară și să reacționeze cu gazul pentru a genera o peliculă compusă.
Sub premisa îndeplinirii cerințelor de performanță ale membranei, diferența dintre coeficientul de dilatare termică al materialului țintă și substrat este cât mai mică posibil, astfel încât să se minimizeze influența stresului termic asupra membranei pulverizate.
Conform cerințelor de utilizare și performanță ale membranei, materialul țintă trebuie să îndeplinească cerințele de puritate, conținut de impurități, uniformitate a componentelor, precizie de prelucrare și alte cerințe tehnice.
–Acest articol este publicat deproducător de mașini de acoperire în vidGuangdong Zhenhua
Data publicării: 09 ian. 2024