Structura sursei de evaporare prin încălzire prin rezistență este simplă, ușor de utilizat, ușor de realizat, fiind cel mai utilizat tip de sursă de evaporare. De obicei, se numește generator de căldură sau barcă de evaporare.
Cerințele de încălzire ale materialului de rezistență utilizat sunt: temperatură ridicată, rezistivitate, presiune de vapori scăzută la temperaturi ridicate, nicio reacție chimică cu materialul membranei, fără degazare și poluare. Materialele de încălzire prin rezistență sunt selectate în principal din metale refractare, cum ar fi W, Mo, Ta și alte materiale, sau din grafit de înaltă puritate și rezistență ridicată sau nitrură de bor, ceramică conductivă sintetică și alte materiale. Uneori, se poate alege și Fe, Ni, aliaje Ni-Cr și Pt ca materiale sursă de evaporare.
Diverse materiale comune (cum ar fi Ti, Mo, C, Ta, W etc.) prezintă curbe diferite în ceea ce privește punctul de topire, presiunea de vapori și temperatura, având o curbă diferită pentru încălzirea prin evaporare. Printre acestea, tungstenul devine fragil atunci când este încălzit la temperatura de evaporare din cauza produsului joncțiunii de încălzire. Molibdenul, pe de altă parte, are o puritate variabilă, unele devenind fragile, iar altele nu. Wolframul reacționează cu vaporii de apă pentru a forma compusul volatil al oxigenului WO3.
Prin urmare, atunci când tungstenul este încălzit în vapori de apă reziduali, materialul încălzit se epuizează continuu. Când presiunea gazului rezidual este scăzută, nu există o pierdere mare de material, dar există o contaminare serioasă a membranei.
La utilizarea surselor filamentare trebuie acordată atenție umezirii firului cald pe materialul membranei. De exemplu, dacă temperatura firului cald crește prea repede, materialul membranei nu topește imediat tot materialul, iar umezirea firului cald nu este suficientă. Drept urmare, pelicula netopită poate cădea din coșul de sârmă. În același timp, creșterea prea rapidă a temperaturii va duce la eliberarea rapidă de gaz în materialul membranei, rezultând bule sau stropi, ceea ce va duce la formarea de picături mici care se lipesc de substrat. Prin urmare, sursele cu filament ar trebui utilizate cu controlul temperaturii.
Principalul dezavantaj al coșurilor de sârmă, al bobinelor conice sau al bobinelor spiralate este că cantitatea de material de film de susținere este prea mică, iar această sursă va determina creșterea temperaturii firului fierbinte pe măsură ce cantitatea de material de film scade după evaporarea acestuia, determinând astfel creșterea ratei de evaporare. Aceasta este, de asemenea, o problemă care trebuie remarcată în procesul de fabricare a peliculei, care necesită un control strict al ratei de evaporare.
(2) Principiul de funcționare, forma structurii și caracteristicile de utilizare
Sursa de evaporare prin încălzire prin rezistență este, de fapt, un încălzitor cu rezistență care utilizează un generator de căldură sau o barcă de evaporare alimentată direct, astfel încât curentul se încălzește printr-o cantitate mare de Joule și atinge o temperatură ridicată pentru a topi materialul peliculei metalice, evaporându-se ca o sursă de evaporare.
–Acest articol este publicat deproducător de mașini de acoperire în vidGuangdong Zhenhua
Data publicării: 23 februarie 2024