O crescimento do filme tem um impacto muito importante. Se a rugosidade da superfície do substrato for grande e, cada vez mais, combinada com defeitos superficiais, isso afetará a adesão e a taxa de crescimento do filme. Portanto, antes do início do revestimento a vácuo, o substrato será pré-processado, o que desempenha o papel da rugosidade da superfície do substrato na superfície do substrato. Após a intervenção ultrassônica, a superfície do substrato formará um pequeno arranhão, o que aumenta a área de contato das partículas finas do filme com a superfície do substrato, o que pode aumentar significativamente a formalidade do rotor e a combinação da base da membrana.
Para a maioria dos materiais de substrato, à medida que a rugosidade diminui, a adesão do filme aumenta, ou seja, a força de ligação da base da membrana se torna mais forte; existem também alguns materiais de substrato que são casos especiais, como a fixação do filme à base cerâmica. Graus decrescentes, ou seja, a força de ligação da base da membrana se torna mais fraca.
Nos fatores de influência que correspondem ao filme e ao filme, o coeficiente de volume térmico desempenha um papel decisivo. Quando o coeficiente de expansão térmica do filme é maior que o coeficiente de expansão térmica da matriz, o torque é negativo e a tensão máxima está na fronteira livre. Está próximo do centro do centro para se tornar comprimido, e o filme pode parecer em camadas. Tomemos como exemplo o filme fino de Skinus sedimentar. Como o coeficiente de expansão térmica do diamante é pequeno, quando a deposição da fase gasosa termina, a temperatura do substrato é reduzida de uma temperatura sedimentar mais alta para a temperatura ambiente, e a contração do diamante é reduzida em comparação com o substrato. Um grande estresse térmico será produzido internamente. Quando o coeficiente de expansão térmica do filme é menor que o coeficiente de aquecimento do substrato, o torque é positivo e o filme não é fácil de estratificar.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento a vácuoGuangdongZhenhua
Horário da publicação: 29 de fevereiro de 2024