A estrutura da fonte de evaporação de aquecimento por resistência é simples, fácil de usar e fabricar, sendo o tipo de fonte de evaporação mais amplamente utilizado. Geralmente é chamado de gerador de calor ou barco de evaporação.
Os requisitos para o aquecimento do material de resistência utilizado são: alta temperatura, resistividade, baixa pressão de vapor em altas temperaturas, ausência de reação química com o material da membrana e ausência de desgaseificação e poluição. Os materiais de aquecimento por resistência selecionados são principalmente de metais refratários, como W, Mo, Ta e outros materiais, ou cerâmicas condutoras sintéticas de grafite ou nitreto de boro de alta pureza e alta resistência, entre outros. Às vezes, também é possível escolher Fe, Ni, ligas de Ni-Cr e Pt como materiais de fonte de evaporação.
Várias fontes de evaporação por aquecimento por resistência de materiais comuns (como Ti, Mo, C, Ta, W, etc.) apresentam diferentes relações entre ponto de fusão, pressão de vapor e temperatura. Entre eles, o tungstênio torna-se quebradiço quando aquecido à temperatura de evaporação devido ao produto da junção de aquecimento. O molibdênio, por outro lado, varia em pureza, com alguns se tornando quebradiços e outros não. O tungstênio reage com o vapor de água para formar o composto volátil de oxigênio WO3.
Portanto, quando o tungstênio é aquecido em vapor d'água residual, o material aquecido é continuamente esgotado. Quando a pressão do gás residual é baixa, não há muita perda de material, mas há uma contaminação grave da membrana.
Ao utilizar fontes filamentosas, deve-se atentar para a umidade do fio quente no material da membrana. Por exemplo, se a temperatura do fio quente subir muito rapidamente, o material da membrana não derreterá imediatamente e a umidade do fio quente não será suficiente. Como resultado, a película não derretida pode cair da cesta de fios. Ao mesmo tempo, se a temperatura subir muito rapidamente, o gás no material da membrana será liberado rapidamente, resultando em bolhas ou respingos, resultando na formação de pequenas gotas que grudam no substrato. Portanto, as fontes filamentosas devem ser utilizadas com controle de temperatura.
A principal desvantagem das cestas de arame, bobinas cônicas ou espirais é que a quantidade de material de suporte do filme é muito pequena, e essa fonte fará com que a temperatura do fio aquecido aumente à medida que a quantidade de material do filme diminui após a evaporação, causando assim o aumento da taxa de evaporação. Este também é um problema que deve ser observado no processo de fabricação de filmes, que exige um controle rigoroso da taxa de evaporação.
(2) O princípio de funcionamento e a forma da estrutura e as características de utilização
A fonte de evaporação de aquecimento por resistência, na verdade, é um aquecedor de resistência que utiliza um gerador de calor ou um barco de evaporação energizado diretamente, de modo que a corrente passa por um grande número de Joules de calor e obtém alta temperatura para derreter o material do filme metálico, de modo que sua evaporação seja um tipo de fonte de evaporação.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento a vácuoGuangdongZhenhua
Horário da publicação: 23 de fevereiro de 2024