د تودوخې د تبخیر د سرچینې جوړښت ساده، کارول اسانه، جوړول یې اسانه دي، د تبخیر تر ټولو پراخه کارول شوې سرچینه ده. خلک معمولا د تودوخې جنراتور یا د تبخیر کښتۍ په نوم یادیږي.
د کارول شوي مقاومت لرونکي موادو اړتیاوې تودوخه کول دا دي: لوړه تودوخه، مقاومت، په لوړه تودوخه کې ټیټ بخار فشار، د غشا موادو سره هیڅ کیمیاوي تعامل نه کول، بهر ګاز او ککړتیا نه تولیدوي. د مقاومت تودوخې غوره شوي توکي په عمده توګه د انعطاف وړ فلزاتو څخه، لکه W، Mo، Ta او نور مواد یا د لوړ پاکوالي، لوړ ځواک ګرافایټ یا بوران نایټرایډ مصنوعي کنډکټیو سیرامیکونو او نورو موادو انتخاب. ځینې وختونه، کولی شي د تبخیر سرچینې موادو په توګه Fe، Ni، Ni-Cr الیاژ او Pt هم غوره کړي.
د ویلې کېدو نقطې او د بخار فشار او د تودوخې اړیکې منحني د عامو موادو (لکه Ti، Mo، C، Ta، W، او داسې نورو) د مقاومت د تودوخې تبخیر سرچینې مختلف دي. د دوی په منځ کې، ټنګسټن د تودوخې جنکشن محصول له امله د تبخیر تودوخې ته د تودوخې په وخت کې ماتیدونکی کیږي. له بلې خوا، مولیبډینم په پاکوالي کې توپیر لري، ځینې یې ماتیدونکی کیږي او نور یې نه کیږي. ټنګسټن د اوبو بخار سره تعامل کوي ترڅو د بې ثباته اکسیجن مرکب WO3 جوړ کړي.
له همدې امله، کله چې ټنګسټن د اوبو په پاتې بخار کې تودوخه شي، تودوخه شوی مواد په دوامداره توګه کمیږي. کله چې د پاتې ګاز فشار ټیټ وي، نو د موادو ډیر زیان نه وي، مګر دا د غشا جدي ککړتیا ده.
د فلیمینټري سرچینو کارول باید د غشا موادو باندې د ګرمو تارونو لوندولو ته پاملرنه وکړي. د مثال په توګه، د ګرمو تارونو تودوخه ډیره چټکه لوړیږي، د غشا موادو سمدلاسه د ټولو غشا موادو منحل کول اسانه ندي او د ګرمو تارونو لوندول کافي ندي. په پایله کې، نه ویل شوي فلم ممکن د تار ټوکرۍ څخه راښکته شي. په ورته وخت کې، د تودوخې زیاتوالی ډیر ګړندی دی چې د غشا موادو په ګاز کې په چټکۍ سره خوشې کیدو لامل کیږي، چې په پایله کې بلبلونه یا توییدل کیږي، چې پایله به یې د کوچنیو څاڅکو رامینځته کول د سبسټریټ سره وصل شي. له همدې امله، د فلیمینټ سرچینې باید د تودوخې کنټرول سره وکارول شي.
د تارونو ټوکرۍ، مخروطي کویلونو یا سرپل کویلونو اصلي زیان دا دی چې د ملاتړ کونکي فلم موادو مقدار ډیر کم دی، او دا سرچینه به د ګرمو تارونو د تودوخې د لوړیدو لامل شي ځکه چې د فلم موادو مقدار د فلم موادو تبخیر وروسته کمیږي، چې پدې توګه د تبخیر کچه لوړیږي. دا هم یوه ستونزه ده چې باید د فلم جوړولو پروسې لپاره په پام کې ونیول شي چې د تبخیر کچه سخت کنټرول ته اړتیا لري.
(2) د کار اصل او جوړښت د شکل او استعمال ځانګړتیا
د مقاومت د تودوخې تبخیر سرچینه، په حقیقت کې، د مقاومت حرارتی ده، دا د تودوخې جنراتور یا د تبخیر کښتۍ څخه کار اخیستل دي چې مستقیم انرژي کیږي، ترڅو جریان د جول له لارې ډیر تودوخه ترلاسه کړي او د فلزي فلم موادو د خړوبولو لپاره لوړه تودوخه ترلاسه کړي، ترڅو دا د تبخیر یو ډول تبخیر سرچینه شي.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: فبروري-۲۳-۲۰۲۴