Å møte filmens vekst har en svært viktig innvirkning. Hvis overflateruheten på substratet er stor, og det i økende grad kombineres med overflatedefekter, vil det påvirke filmens feste og veksthastighet. Derfor, før vakuumbelegget starter, vil substratet forbehandles, noe som spiller en rolle i overflateruheten på substratet. Etter ultralydintervensjonen vil det danne seg små riper på substratoverflaten, noe som øker kontaktområdet mellom tynnfilmpartiklene og substratoverflaten, noe som kan øke formaliteten til rotoren og kombinasjonen av membranbasen betydelig.
For de fleste substratmaterialer øker filmens adhesjon når substratets ruhet avtar, det vil si at membranbasens bindekraft blir sterkere. Det finnes også noen substratmaterialer som er spesielle tilfeller, for eksempel filmadhesjonen til den keramiske basen. Redusert grad, det vil si at membranbasens bindekraft svekkes.
I påvirkningsfaktorene som matcher filmen, spiller den termiske bulkkoeffisienten en avgjørende rolle. Når filmens termiske ekspansjonskoeffisient er større enn matrisens termiske ekspansjonskoeffisient, er dreiemomentet negativt, og den maksimale spenningen er ved den frie grensen. Den er nær sentrum av senteret for å bli komprimert, og filmen kan virke lagdelt. Ta den sedimentære Skinus-tynne filmen som et eksempel. Fordi diamantens termiske ekspansjonskoeffisient er liten, reduseres substrattemperaturen fra en høyere sedimentær temperatur til romtemperatur når gassfaseavsetningen er over, og diamantens sammentrekning reduseres sammenlignet med substratet. Det vil oppstå en stor termisk spenning på innsiden. Når filmens termiske ekspansjonskoeffisient er mindre enn substratets varmelederkoeffisient, er dreiemomentet positivt, og filmen er ikke lett å legge lagdelt.
– Denne artikkelen er publisert avprodusent av vakuumbeleggsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publisert: 29. feb. 2024