Strukturen til en motstandsvarme-fordampningskilde er enkel, brukervennlig og enkel å lage, og er den mest brukte typen fordampningskilde. Folk kalles vanligvis varmegeneratorer eller fordampningsbåter.
Kravene til oppvarmingsmaterialet som brukes er: høy temperatur, resistivitet, lavt damptrykk ved høye temperaturer, ingen kjemisk reaksjon med membranmaterialet, ingen utgassing og forurensning. Motstandsoppvarmingsmaterialer brukes hovedsakelig fra ildfaste metaller, som W, Mo, Ta og andre materialer, eller det brukes syntetisk ledende keramikk med høy renhet og høy styrke, som grafitt eller bornitrid. Noen ganger kan man også velge Fe, Ni, Ni-Cr-legeringer og Pt som fordampningskildemateriale.
Forskjellige motstandsvarme-fordampningskilder for vanlige materialer (som Ti, Mo, C, Ta, W, etc.) har forskjellige smeltepunktskurver, damptrykk og temperaturforhold. Blant disse blir wolfram sprø når den varmes opp til fordampningstemperaturen på grunn av varmeforbindelsesproduktet. Molybden varierer derimot i renhet, noe blir sprø og andre ikke. Wolfram reagerer med vanndamp og danner den flyktige oksygenforbindelsen WO3.
Derfor, når wolfram varmes opp i gjenværende vanndamp, tapes det oppvarmede materialet kontinuerlig. Når restgasstrykket er lavt, er det ikke mye materialtap, men det er en alvorlig forurensning av membranen.
Ved bruk av filamentkilder bør man være oppmerksom på hvorvidt den varme tråden fukter membranmaterialet. For eksempel, hvis temperaturen på den varme tråden stiger for raskt, er det ikke lett for membranmaterialet å smelte alt membranmaterialet umiddelbart, og fuktingen av den varme tråden er ikke tilstrekkelig. Som et resultat kan den usmeltede filmen falle ut av trådkurven. Samtidig vil en for rask temperaturøkning også føre til at gassen i membranmaterialet frigjøres raskt, noe som resulterer i bobler eller sprut, noe som vil føre til at små dråper fester seg til underlaget. Derfor bør filamentkilder brukes med temperaturkontroll.
Den største ulempen med trådkurver, koniske spoler eller spiralspiraler er at mengden støttefilmmateriale er for liten, og denne kilden vil føre til at temperaturen på den varme tråden stiger etter hvert som mengden filmmateriale avtar etter at filmmaterialet er fordampet, og dermed fører til at fordampningshastigheten øker. Dette er også et problem som bør bemerkes for filmproduksjonsprosessen som krever streng kontroll av fordampningshastigheten.
(2) Virkemåte og strukturform og brukskarakteristikk
En motstandsvarmerkilde er faktisk en motstandsvarmer. Det er en direkte energisering fra en varmegenerator eller fordampningsbåt, slik at strømmen går gjennom en stor mengde joule og får høy temperatur for å smelte metallfilmmaterialet, slik at det dannes en fordampningskilde.
– Denne artikkelen er publisert avprodusent av vakuumbeleggsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publisert: 23. feb. 2024