1. Termisk CVD-teknologi
Harde belegg er for det meste metallkeramiske belegg (TiN, etc.), som dannes ved reaksjon av metall i belegget og reaktiv forgassing. I starten ble termisk CVD-teknologi brukt til å gi aktiveringsenergien til kombinasjonsreaksjonen ved termisk energi ved en høy temperatur på 1000 ℃. Denne temperaturen er kun egnet for avsetning av TiN og andre harde belegg på sementerte hardmetallverktøy. Så langt er det fortsatt en viktig teknologi å avsette TiN-Al20 komposittbelegg på sementerte hardmetallverktøyhoder.
2. Hulkatodeionbelegg og varmtrådbueionbelegg
På 1980-tallet ble hulkatodeionbelegg og varmtrådsbueionbelegg brukt til å avsette belagte skjæreverktøy. Begge disse ionbeleggteknologiene er bueutladningsionbeleggteknologier, med en metallioniseringsrate på opptil 20 % ~ 40 %.
3. Katodebueionbelegg
Fremveksten av katodisk bueionbelegg har ført til utviklingen av teknologien for avsetning av harde belegg på former. Ioniseringshastigheten for katodisk bueionbelegg er 60 % ~ 90 %, noe som gjør at et stort antall metallioner og reaksjonsgassioner kan nå overflaten av arbeidsstykket og fortsatt opprettholde høy aktivitet, noe som resulterer i reaksjonsavsetning og dannelse av harde belegg som TiN. For tiden brukes katodisk bueionbeleggteknologi hovedsakelig til å avsette harde belegg på former.
Katodebuekilden er en faststofffordampningskilde uten et fast smeltebad, og buekildens posisjon kan plasseres vilkårlig, noe som forbedrer plassutnyttelsesgraden i belegningsrommet og øker ovnens lastekapasitet. Formene på katodebuekildene inkluderer små sirkulære katodebuekilder, søyleformede buekilder og rektangulære, flate, store buekilder. Ulike komponenter i små buekilder, søyleformede buekilder og store buekilder kan arrangeres separat for å avsette flerlagsfilmer og nano-flerlagsfilmer. På grunn av den høye metallioniseringshastigheten til katodisk bueionbelegg, kan metallioner absorbere flere reaksjonsgasser, noe som resulterer i et bredt prosessområde og enkel operasjon for å oppnå utmerkede harde belegg. Imidlertid er det grove dråper i mikrostrukturen til belegglaget oppnådd ved katodisk bueionbelegg. I de senere år har mange nye teknologier dukket opp for å forbedre strukturen til filmlaget, noe som har forbedret kvaliteten på bueionbeleggfilmen.
——Denne artikkelen ble publisert av Guangdong Zhenhua Technology, enprodusent av optiske beleggmaskiner.
Publisert: 28. april 2023