De oppervlaktevorm en thermische uitzettingscoëfficiënt van het substraat op de film

De groei van de film heeft een zeer belangrijke impact. Een grote oppervlakteruwheid van het substraat, gecombineerd met oppervlaktedefecten, heeft invloed op de hechting en groeisnelheid van de film. Daarom wordt het substraat voorbewerkt voordat de vacuümcoating start, wat een rol speelt bij de oppervlakteruwheid van het substraat op het substraatoppervlak. Na de ultrasone behandeling vormt zich een kleine kras op het substraatoppervlak, waardoor het contactoppervlak tussen de dunne filmdeeltjes en het substraatoppervlak toeneemt. Dit kan de formaliteit van de rotor en de combinatie met de membraanbasis aanzienlijk verbeteren.

Voor de meeste substraatmaterialen geldt dat naarmate de ruwheid van het substraat afneemt, de filmhechting toeneemt, dat wil zeggen dat de bindingskracht van de membraanbasis sterker wordt. Er zijn ook enkele substraatmaterialen die een speciaal geval vormen, zoals de filmhechting van de keramische basis. Bij een lagere ruwheid neemt de bindingskracht van de membraanbasis af.

De thermische bulkcoëfficiënt speelt een doorslaggevende rol bij de beïnvloedende factoren die de film en de film beïnvloeden. Wanneer de thermische uitzettingscoëfficiënt van de film groter is dan de thermische uitzettingscoëfficiënt van de matrix, is de torsie negatief en bevindt de maximale spanning zich aan de vrije rand. Deze bevindt zich dicht bij het midden van het centrum, waar de film samengedrukt wordt en er gelaagd kan uitzien. Neem de dunne sedimentaire Skinus-film als voorbeeld. Omdat de thermische uitzettingscoëfficiënt van diamant klein is, daalt de substraattemperatuur na de gasfaseafzetting van een hogere sedimentaire temperatuur naar kamertemperatuur, waardoor de krimp van diamant ten opzichte van het substraat afneemt. Er ontstaat dan een grote thermische spanning aan de binnenkant. Wanneer de thermische uitzettingscoëfficiënt van de film lager is dan de verwarmingsledgercoëfficiënt van het substraat, is de torsie positief en is de film moeilijk te gelaagd.

–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua