De structuur van een weerstandsverwarmingsverdampingsbron is eenvoudig, gebruiksvriendelijk en gemakkelijk te maken. Het is de meest gebruikte verdampingsbron. Men spreekt meestal van een warmtegenerator of verdampingsboot.
De verwarmingseisen van het gebruikte weerstandsmateriaal zijn: hoge temperatuur, weerstand, lage dampspanning bij hoge temperaturen, geen chemische reactie met het membraanmateriaal, geen gasvorming en vervuiling. Geselecteerde weerstandsverwarmingsmaterialen bestaan voornamelijk uit vuurvaste metalen zoals W, Mo, Ta en andere materialen, of uit synthetische geleidende keramiek met hoge zuiverheid en hoge sterkte, zoals grafiet of boornitride. Soms kan ook worden gekozen voor Fe, Ni, Ni-Cr-legering en Pt als verdampingsbronmateriaal.
Verschillende weerstandsverhittingsbronnen van gangbare materialen (zoals Ti, Mo, C, Ta, W, enz.) hebben een verschillende relatie tussen smeltpunt en dampspanning en temperatuur. Wolfraam wordt bros bij verhitting tot de verdampingstemperatuur vanwege het verwarmingsverbindingsproduct. Molybdeen daarentegen varieert in zuiverheid, waarbij sommige bros worden en andere niet. Wolfraam reageert met waterdamp om de vluchtige zuurstofverbinding WO3 te vormen.
Wanneer wolfraam wordt verhit in restwaterdamp, raakt het verhitte materiaal continu uitgeput. Bij een lage restgasdruk is er weinig materiaalverlies, maar wel een ernstige vervuiling van het membraan.
Bij het gebruik van filamentbronnen moet rekening worden gehouden met de bevochtiging van de hete draad op het membraanmateriaal. Als de temperatuur van de hete draad bijvoorbeeld te snel stijgt, is het membraanmateriaal niet in staat om direct al het membraanmateriaal te smelten en is de bevochtiging van de hete draad onvoldoende. Hierdoor kan de ongesmolten film uit de draadmand vallen. Een te snelle temperatuurstijging zorgt er ook voor dat het gas in het membraanmateriaal snel vrijkomt, wat resulteert in bellen of spatten, waardoor kleine druppeltjes aan het substraat blijven plakken. Daarom moeten filamentbronnen met temperatuurregeling worden gebruikt.
Het grootste nadeel van draadmanden, conische spoelen of spiraalvormige spoelen is dat de hoeveelheid ondersteunend filmmateriaal te klein is. Dit veroorzaakt een te lage temperatuur van de hete draad naarmate de hoeveelheid filmmateriaal afneemt nadat het filmmateriaal is verdampt, waardoor de verdampingssnelheid toeneemt. Dit is ook een probleem waarmee rekening moet worden gehouden bij het maken van films, waarbij een strikte controle van de verdampingssnelheid vereist is.
(2) Het werkingsprincipe en de structuur, vorm en gebruikskenmerken
Weerstandsverwarming verdampingsbron, in feite is een weerstandsverwarming het gebruik van de warmtegenerator of verdampingsboot direct onder spanning, zodat de stroom door een groot aantal Joule warmte en een hoge temperatuur krijgt om metaalfilmmateriaal te smelten, zodat het verdampt van een soort verdampingsbron.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Plaatsingstijd: 23-02-2024