1. Thermische CVD-technologie
Harde coatings zijn meestal metaalkeramische coatings (TiN, enz.), die worden gevormd door de reactie van metaal in de coating en reactieve vergassing. Aanvankelijk werd de thermische CVD-technologie gebruikt om de activeringsenergie van de gecombineerde reactie met thermische energie te leveren bij een hoge temperatuur van 1000 °C. Deze temperatuur is alleen geschikt voor het aanbrengen van TiN en andere harde coatings op hardmetalen gereedschappen. Tot op heden is het aanbrengen van TiN-Al20 composietcoatings op hardmetalen gereedschapskoppen nog steeds een belangrijke technologie.
2. Holle kathode-ionencoating en hete-draadboog-ionencoating
In de jaren 80 werden holle-kathode-ioncoating en hete-draadboog-ioncoating gebruikt om gecoate snijgereedschappen te deponeren. Beide ioncoatingtechnologieën zijn boogontladings-ioncoatingtechnologieën, met een metaalionisatiegraad tot 20% tot 40%.
3. Kathodeboog-ioncoating
De opkomst van kathodische boogioncoating heeft geleid tot de ontwikkeling van de technologie voor het aanbrengen van harde coatings op mallen. De ionisatiegraad van kathodische boogioncoating bedraagt 60% tot 90%, waardoor een groot aantal metaalionen en reactiegasionen het oppervlak van het werkstuk kunnen bereiken en toch een hoge activiteit behouden. Dit resulteert in reactieafzetting en de vorming van harde coatings zoals TiN. Momenteel wordt kathodische boogioncoatingtechnologie voornamelijk gebruikt voor het aanbrengen van harde coatings op mallen.
De kathodeboogbron is een vastestofverdampingsbron zonder een vast smeltbad. De positie van de boogbron kan willekeurig worden bepaald, wat de ruimtebenutting in de coatingruimte verbetert en de beladingscapaciteit van de oven vergroot. Kathodeboogbronnen kunnen verschillende vormen hebben, zoals kleine ronde kathodeboogbronnen, zuilvormige boogbronnen en rechthoekige, platte, grote boogbronnen. Verschillende componenten van kleine boogbronnen, zuilvormige boogbronnen en grote boogbronnen kunnen afzonderlijk worden geplaatst om meerlaagse films en nano-meerlaagse films af te zetten. Dankzij de hoge metaalionisatiesnelheid van kathodische boogioncoating kunnen metaalionen meer reactiegassen absorberen, wat resulteert in een breed procesbereik en een eenvoudige bediening voor het verkrijgen van uitstekende harde coatings. Er bevinden zich echter grove druppels in de microstructuur van de coatinglaag die wordt verkregen door kathodische boogioncoating. In de afgelopen jaren zijn er veel nieuwe technologieën ontwikkeld om de structuur van de filmlaag te verfijnen, wat de kwaliteit van de boogioncoatingfilm heeft verbeterd.
——Dit artikel is gepubliceerd door Guangdong Zhenhua Technology, eenfabrikant van optische coatingmachines.
Plaatsingstijd: 28-04-2023