स्पटरिङ कोटिंगको बढ्दो विकाससँगै, विशेष गरी म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ कोटिंग प्रविधि, हाल, कुनै पनि सामग्रीको लागि आयन बमबारी लक्ष्य फिल्म द्वारा तयार गर्न सकिन्छ, किनभने लक्ष्य कुनै प्रकारको सब्सट्रेटमा कोटिंग गर्ने प्रक्रियामा स्पटर हुन्छ, मापन गरिएको फिल्मको गुणस्तरमा महत्त्वपूर्ण प्रभाव पर्छ, त्यसैले, लक्षित सामग्रीको लागि आवश्यकताहरू पनि कडा छन्। लक्षित सामग्रीको चयनमा, फिल्मको प्रयोगको अतिरिक्त आफैं चयन गर्नुपर्छ, निम्न मुद्दाहरूलाई पनि विचार गर्नुपर्छ:
फिल्म पछि लक्षित सामग्रीमा राम्रो यान्त्रिक शक्ति र रासायनिक स्थिरता हुनुपर्छ;
लक्ष्य र सब्सट्रेटलाई दृढतापूर्वक जोड्नु पर्छ, अन्यथा यसलाई सब्सट्रेटमा झिल्ली तहको राम्रो संयोजन भएकोले लिनुपर्छ, पहिले आधार फिल्म स्पटरिङ गर्नुपर्छ र त्यसपछि आवश्यक झिल्ली तहको तयारी गर्नुपर्छ;
प्रतिक्रियाको रूपमा झिल्ली सामग्रीमा स्पटरिंग गर्दा यौगिक फिल्म उत्पन्न गर्न ग्याससँग प्रतिक्रिया गर्न सजिलो हुनुपर्छ।
झिल्लीको कार्यसम्पादन आवश्यकताहरू पूरा गर्ने आधारमा, लक्षित सामग्री र सब्सट्रेटको थर्मल विस्तारको गुणांक बीचको भिन्नता सकेसम्म सानो छ, ताकि स्पटर गरिएको झिल्लीमा थर्मल तनावको प्रभावलाई कम गर्न सकियोस्।
झिल्लीको प्रयोग र कार्यसम्पादन आवश्यकताहरू अनुसार, लक्षित सामग्रीले शुद्धता, अशुद्धता सामग्री, घटक एकरूपता, मेसिनिंग शुद्धता र अन्य प्राविधिक आवश्यकताहरू पूरा गर्नुपर्छ।
- यो लेख प्रकाशित गरिएको होभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्मातागुआंग्डोंग Zhenhua
पोस्ट समय: जनवरी-०९-२०२४