प्रतिरोधी ताप वाष्पीकरण स्रोत संरचना सरल, प्रयोग गर्न सजिलो, बनाउन सजिलो छ, सबैभन्दा व्यापक रूपमा प्रयोग हुने एक प्रकारको वाष्पीकरण स्रोत हो। मानिसहरूलाई सामान्यतया ताप जनरेटर वा वाष्पीकरण डुङ्गा भनिन्छ।
तापक्रम बढाउन प्रयोग गरिने प्रतिरोधात्मक सामग्रीको आवश्यकताहरू यस प्रकार छन्: उच्च तापक्रम, प्रतिरोधात्मकता, उच्च तापक्रममा कम वाष्प चाप, झिल्ली सामग्रीसँग कुनै रासायनिक प्रतिक्रिया हुँदैन, आउटग्यासिङ र प्रदूषण उत्पादन गर्दैन। मुख्यतया W, Mo, Ta र अन्य सामग्रीहरू जस्ता दुर्दम्य धातुहरूबाट चयन गरिएको प्रतिरोधात्मक ताप सामग्रीहरू वा उच्च-शुद्धता, उच्च-शक्ति ग्रेफाइट वा बोरोन नाइट्राइड सिंथेटिक प्रवाहकीय सिरेमिक र अन्य सामग्रीहरूको चयन। कहिलेकाहीं, वाष्पीकरण स्रोत सामग्रीको रूपमा Fe, Ni, Ni-Cr मिश्र धातु र Pt पनि छनौट गर्न सकिन्छ।
सामान्य पदार्थहरू (जस्तै Ti, Mo, C, Ta, W, आदि) को पग्लने बिन्दु र वाष्प चाप र तापमान सम्बन्ध वक्रको विभिन्न प्रतिरोध ताप वाष्पीकरण स्रोतहरू फरक छन्। ती मध्ये, ताप जंक्शन उत्पादनको कारणले गर्दा वाष्पीकरण तापक्रममा तताउँदा टंगस्टन भंगुर हुन्छ। अर्कोतर्फ, मोलिब्डेनम शुद्धतामा भिन्न हुन्छ, केही भंगुर हुन्छन् र अरू हुँदैनन्। टंगस्टनले वाष्पशील अक्सिजन यौगिक WO3 बनाउन पानीको वाष्पसँग प्रतिक्रिया गर्दछ।
त्यसकारण, जब टंगस्टनलाई अवशिष्ट पानीको बाफमा तताइन्छ, तताइएको पदार्थ निरन्तर घट्दै जान्छ। जब अवशिष्ट ग्यासको चाप कम हुन्छ, त्यहाँ धेरै भौतिक क्षति हुँदैन, तर यो झिल्लीको गम्भीर प्रदूषण हो।
फिलामेन्टरी स्रोतहरूको प्रयोगले झिल्ली सामग्रीमा तातो तारको भिजेकोमा ध्यान दिनुपर्छ। उदाहरणका लागि, तातो तारको तापक्रम धेरै छिटो बढ्छ, झिल्ली सामग्री तुरुन्तै सबै झिल्ली सामग्री पगाल्न सजिलो हुँदैन र तातो तार भिजाउनु पर्याप्त हुँदैन। फलस्वरूप, नपग्लिएको फिल्म तारको टोकरीबाट बाहिर खस्न सक्छ। साथै, तापक्रम धेरै छिटो वृद्धिले ग्यासमा झिल्ली सामग्रीलाई छिटो निस्कनेछ, जसको परिणामस्वरूप बुलबुले वा छिट्टै छर्किनेछ, परिणामस्वरूप साना थोपाहरू सब्सट्रेटमा टाँसिनेछन्। त्यसैले, फिलामेन्ट स्रोतहरू तापक्रम नियन्त्रणको साथ प्रयोग गर्नुपर्छ।
तार बास्केट, कोनिकल कोइल वा सर्पिल कोइलको मुख्य बेफाइदा भनेको फिल्म सामग्रीलाई समर्थन गर्ने मात्रा धेरै कम हुनु हो, र यो स्रोतले फिल्म सामग्री वाष्पीकरण भएपछि फिल्म सामग्रीको मात्रा घट्दै जाँदा तातो तारको तापक्रम बढाउँछ, जसले गर्दा वाष्पीकरण दर बढ्छ। यो पनि एक समस्या हो जुन फिल्म निर्माण प्रक्रियाको लागि ध्यान दिनुपर्छ जसलाई वाष्पीकरण दरको कडा नियन्त्रण आवश्यक पर्दछ।
(२) कार्य सिद्धान्त र संरचनाले आकार र प्रयोगको विशेषता
प्रतिरोध ताप वाष्पीकरण स्रोत, वास्तवमा, प्रतिरोध हीटर हो यो ताप जनरेटर वा वाष्पीकरण डुङ्गाको प्रयोग हो जुन सिधै ऊर्जावान हुन्छ, जसले गर्दा धातुको फिल्म सामग्री पग्लन उच्च तापक्रममा जुल ताप्न र पग्लन सक्छ, जसले गर्दा यसको वाष्पीकरण एक प्रकारको वाष्पीकरण स्रोत हो।
- यो लेख प्रकाशित गरिएको होभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्मातागुआंग्डोंग Zhenhua
पोस्ट समय: फेब्रुअरी-२३-२०२४