१. थर्मल CVD प्रविधि
कडा कोटिंगहरू प्रायः धातुको सिरेमिक कोटिंग्स (TiN, आदि) हुन्, जुन कोटिंगमा धातुको प्रतिक्रिया र प्रतिक्रियाशील ग्यासिफिकेशनबाट बन्छन्। सुरुमा, १००० ℃ को उच्च तापक्रममा थर्मल ऊर्जाद्वारा संयोजन प्रतिक्रियाको सक्रियता ऊर्जा प्रदान गर्न थर्मल CVD प्रविधि प्रयोग गरिएको थियो। यो तापक्रम सिमेन्टेड कार्बाइड उपकरणहरूमा TiN र अन्य कडा कोटिंगहरू जम्मा गर्नको लागि मात्र उपयुक्त छ। अहिलेसम्म, सिमेन्टेड कार्बाइड उपकरण हेडहरूमा TiN-Al20 कम्पोजिट कोटिंग्स जम्मा गर्नु अझै पनि एक महत्त्वपूर्ण प्रविधि हो।
२. खोक्रो क्याथोड आयन कोटिंग र तातो तार चाप आयन कोटिंग
१९८० को दशकमा, कोटेड काट्ने उपकरणहरू जम्मा गर्न खोक्रो क्याथोड आयन कोटिंग र तातो तार आर्क आयन कोटिंग प्रयोग गरिन्थ्यो। यी दुवै आयन कोटिंग प्रविधिहरू आर्क डिस्चार्ज आयन कोटिंग प्रविधिहरू हुन्, जसको धातु आयनीकरण दर २०% ~ ४०% सम्म हुन्छ।
३. क्याथोड आर्क आयन कोटिंग
क्याथोडिक आर्क आयन कोटिंगको उदयले मोल्डहरूमा कडा कोटिंगहरू जम्मा गर्ने प्रविधिको विकास गरेको छ। क्याथोडिक आर्क आयन कोटिंगको आयनीकरण दर ६०% ~ ९०% छ, जसले गर्दा ठूलो संख्यामा धातु आयनहरू र प्रतिक्रिया ग्यास आयनहरू वर्कपीसको सतहमा पुग्न र अझै पनि उच्च गतिविधि कायम राख्न अनुमति दिन्छ, जसले गर्दा प्रतिक्रिया निक्षेपण हुन्छ र TiN जस्ता कडा कोटिंगहरूको गठन हुन्छ। हाल, क्याथोडिक आर्क आयन कोटिंग प्रविधि मुख्यतया मोल्डहरूमा कडा कोटिंगहरू जम्मा गर्न प्रयोग गरिन्छ।
क्याथोड आर्क स्रोत एक ठोस-अवस्था वाष्पीकरण स्रोत हो जुन निश्चित पग्लिएको पोखरी बिना नै हुन्छ, र आर्क स्रोत स्थिति मनमानी रूपमा राख्न सकिन्छ, कोटिंग कोठाको ठाउँ उपयोग दर सुधार गर्दछ र भट्टी लोडिंग क्षमता बढाउँछ। क्याथोड आर्क स्रोतहरूको आकारहरूमा सानो गोलाकार क्याथोड आर्क स्रोतहरू, स्तम्भ आर्क स्रोतहरू, र आयताकार समतल ठूला आर्क स्रोतहरू समावेश छन्। बहु-तह फिल्महरू र न्यानो बहु-तह फिल्महरू जम्मा गर्न साना आर्क स्रोतहरू, स्तम्भ आर्क स्रोतहरू, र ठूला आर्क स्रोतहरूको विभिन्न घटकहरू छुट्टाछुट्टै व्यवस्थित गर्न सकिन्छ। यसैबीच, क्याथोडिक आर्क आयन कोटिंगको उच्च धातु आयनीकरण दरको कारण, धातु आयनहरूले थप प्रतिक्रिया ग्यासहरू अवशोषित गर्न सक्छन्, जसको परिणामस्वरूप विस्तृत प्रक्रिया दायरा र उत्कृष्ट कडा कोटिंगहरू प्राप्त गर्न सरल सञ्चालन हुन्छ। यद्यपि, क्याथोडिक आर्क आयन कोटिंगद्वारा प्राप्त कोटिंग तहको माइक्रोस्ट्रक्चरमा मोटा थोपाहरू छन्। हालका वर्षहरूमा, फिल्म तहको संरचनालाई परिष्कृत गर्न धेरै नयाँ प्रविधिहरू देखा परेका छन्, जसले आर्क आयन कोटिंग फिल्मको गुणस्तर सुधार गरेको छ।
——यो लेख ग्वाङडोङ जेनहुआ टेक्नोलोजी द्वारा जारी गरिएको थियो, एअप्टिकल कोटिंग मेसिनहरूको निर्माता.
पोस्ट समय: अप्रिल-२८-२०२३