Il-forma tal-wiċċ u l-koeffiċjent tal-espansjoni termali tas-sottostrat fuq il-film

It-tkabbir tal-film għandu impatt importanti ħafna. Jekk il-ħruxija tal-wiċċ tas-sottostrat tkun kbira, u aktar u aktar flimkien ma' difetti fil-wiċċ, dan jaffettwa r-rata ta' twaħħil u tkabbir tal-film. Għalhekk, qabel ma jibda l-kisi bil-vakwu, is-sottostrat se jiġi pproċessat minn qabel, li għandu r-rwol tal-ħruxija tal-wiċċ tas-sottostrat fuq il-wiċċ tas-sottostrat. Wara l-intervent ultrasoniku, il-wiċċ tas-sottostrat jifforma grif żgħir, li jżid iż-żona ta' kuntatt tal-partiċelli tal-film irqiq u l-wiċċ tas-sottostrat, li jista' jżid b'mod sinifikanti l-formalità tar-rotor u l-kombinazzjoni tal-bażi tal-membrana.

Għal ħafna mill-materjali tas-sottostrat, hekk kif tonqos il-ħruxija tas-sottostrat, l-adeżjoni tal-film tiżdied, jiġifieri, il-forza li torbot il-bażi tal-membrana tissaħħaħ; hemm ukoll xi materjali tas-sottostrat li huma każijiet speċjali, bħall-adeżjoni tal-film tal-bażi taċ-ċeramika. Gradi mnaqqsa, jiġifieri, il-forza li torbot il-bażi tal-membrana tiddgħajjef.

Fil-fatturi li jinfluwenzaw il-film u l-film, il-koeffiċjent tal-massa termali għandu rwol deċiżiv. Meta l-koeffiċjent tal-espansjoni termali tal-film ikun akbar mill-koeffiċjent tal-espansjoni termali tal-matriċi, it-torque jkun negattiv, u t-tensjoni massima tkun fil-konfini ħieles. Huwa qrib iċ-ċentru taċ-ċentru biex jiġi kkompressat, u l-film jista' jidher f'saffi. Ħu l-film irqiq sedimentarju Skinus bħala eżempju. Minħabba li l-koeffiċjent tal-espansjoni termali tad-djamant huwa żgħir, meta d-depożizzjoni tal-fażi tal-gass tkun lesta, it-temperatura tas-sottostrat titnaqqas minn temperatura sedimentarja ogħla għat-temperatura tal-kamra, u l-kontrazzjoni tad-djamant titnaqqas meta mqabbla mas-sottostrat. Stress termali kbir jiġi prodott ġewwa. Meta l-koeffiċjent tal-espansjoni termali tal-film ikun inqas mill-koeffiċjent tal-ledger tat-tisħin tas-sottostrat, it-torque jkun pożittiv, u l-film ma jkunx faċli biex jiġi f'saffi.

–Dan l-artiklu ġie ppubblikat minnmanifattur tal-magna tal-kisi bil-vakwuGuangdong Zhenhua