Bl-iżvilupp dejjem jikber tal-kisi bl-isputtering, speċjalment it-teknoloġija tal-kisi bl-isputtering tal-manjetron, fil-preżent, kwalunkwe materjal jista' jiġi ppreparat permezz ta' film fil-mira permezz ta' bumbardament joniku. Minħabba li l-mira tiġi sputterizzata fil-proċess tal-kisi fuq xi tip ta' sottostrat, il-kwalità tal-film imkejjel għandha impatt importanti, għalhekk, ir-rekwiżiti għall-materjal fil-mira huma wkoll aktar stretti. Fl-għażla tal-materjal fil-mira, minbarra l-użu tal-film innifsu, għandhom jiġu kkunsidrati wkoll il-kwistjonijiet li ġejjin:
Il-materjal fil-mira għandu jkollu saħħa mekkanika tajba u stabbiltà kimika wara l-film;
Il-mira u s-sottostrat għandhom ikunu kkombinati sew, inkella għandu jittieħed bis-sottostrat li għandu kombinazzjoni tajba ta' saff tal-membrana, l-ewwel sputtering ta' film bażi u mbagħad il-preparazzjoni tas-saff tal-membrana meħtieġ;
Bħala reazzjoni, it-tixrid fil-materjal tal-membrana jrid ikun faċli biex jirreaġixxi mal-gass biex jiġġenera film kompost.
Taħt il-premessa li jintlaħqu r-rekwiżiti tal-prestazzjoni tal-membrana, id-differenza bejn il-koeffiċjent tal-espansjoni termali tal-materjal fil-mira u s-sottostrat hija żgħira kemm jista' jkun, sabiex tiġi minimizzata l-influwenza tal-istress termali fuq il-membrana sputtered.
Skont l-użu u r-rekwiżiti tal-prestazzjoni tal-membrana, il-materjal fil-mira għandu jissodisfa l-purità, il-kontenut ta' impurità, l-uniformità tal-komponenti, l-eżattezza tal-magni u rekwiżiti tekniċi oħra.
–Dan l-artiklu ġie ppubblikat minnmanifattur tal-magna tal-kisi bil-vakwuGuangdong Zhenhua
Ħin tal-posta: 09 ta' Jannar 2024