Struktur sumber penyejatan pemanasan rintangan adalah mudah, mudah digunakan, mudah dibuat, adalah yang paling banyak digunakan satu jenis sumber penyejatan. Orang biasanya dipanggil penjana haba atau bot penyejatan.
Pemanasan keperluan bahan rintangan yang digunakan ialah: suhu tinggi, kerintangan, tekanan wap rendah pada suhu tinggi, tiada tindak balas kimia dengan bahan membran, tidak menghasilkan keluar gas dan pencemaran. Bahan pemanasan rintangan terpilih terutamanya daripada logam refraktori, seperti W, Mo, Ta dan bahan lain atau pemilihan seramik konduktif sintetik ketulenan tinggi, kekuatan tinggi atau boron nitrida dan bahan lain. Kadang-kadang, boleh juga memilih aloi Fe, Ni, Ni-Cr dan Pt sebagai bahan sumber penyejatan.
Pelbagai rintangan pemanasan sumber penyejatan bahan biasa (seperti Ti, Mo, C, Ta, W, dll.) takat lebur dan tekanan wap dan keluk hubungan suhu adalah berbeza. Antaranya, tungsten menjadi rapuh apabila dipanaskan pada suhu penyejatan kerana produk simpang pemanasan. Molibdenum, sebaliknya, berbeza dalam ketulenan, dengan beberapa menjadi rapuh dan yang lain tidak. Tungsten bertindak balas dengan wap air untuk membentuk sebatian oksigen yang meruap WO3.
Oleh itu, apabila tungsten dipanaskan dalam wap air sisa, bahan yang dipanaskan akan habis secara berterusan. Apabila tekanan gas sisa rendah, tidak banyak kehilangan bahan, tetapi ia adalah pencemaran serius pada membran.
Penggunaan sumber filamen perlu memberi perhatian kepada pembasahan wayar panas pada bahan membran. Sebagai contoh, suhu dawai panas meningkat terlalu cepat, bahan membran tidak mudah mencairkan semua bahan membran dengan serta-merta dan pembasahan wayar panas tidak mencukupi. Akibatnya, filem yang tidak cair mungkin jatuh dari bakul wayar. Pada masa yang sama, kenaikan suhu yang terlalu cepat juga akan menyebabkan bahan membran dalam gas dilepaskan dengan cepat, mengakibatkan buih atau percikan, hasilnya akan membuat pembentukan titisan kecil melekat pada substrat. Oleh itu, sumber filamen harus digunakan dengan kawalan suhu.
Kelemahan utama bakul dawai, gegelung kon atau gegelung lingkaran ialah jumlah bahan filem sokongan adalah terlalu kecil, dan sumber ini akan menyebabkan suhu wayar panas meningkat apabila jumlah bahan filem berkurangan selepas bahan filem tersejat, sekali gus menyebabkan kadar penyejatan meningkat. Ini juga merupakan masalah yang perlu diberi perhatian untuk proses pembuatan filem yang memerlukan kawalan ketat terhadap kadar penyejatan.
(2) Prinsip kerja dan bentuk struktur dan ciri penggunaan
Sumber penyejatan pemanasan rintangan, sebenarnya, adalah pemanas rintangan ia adalah penggunaan penjana haba atau bot penyejatan secara langsung bertenaga, supaya arus melalui sejumlah besar haba Joule dan mendapat suhu tinggi untuk mencairkan bahan filem logam, supaya penyejatannya sejenis sumber penyejatan.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: Feb-23-2024