फिल्मच्या वाढीला तोंड देण्याचा खूप महत्त्वाचा परिणाम होतो. जर सब्सट्रेटची पृष्ठभागाची खडबडीतपणा मोठी असेल आणि ती पृष्ठभागाच्या दोषांसह अधिकाधिक एकत्रित होत असेल, तर त्याचा फिल्मच्या जोडणी आणि वाढीच्या दरावर परिणाम होईल. म्हणून, व्हॅक्यूम कोटिंग सुरू होण्यापूर्वी, सब्सट्रेटची पूर्व-प्रक्रिया केली जाईल, जी सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागाच्या खडबडीतपणाची भूमिका बजावते. अल्ट्रासोनिक हस्तक्षेपानंतर, सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर एक लहान स्क्रॅच तयार होईल, ज्यामुळे पातळ फिल्म कण आणि सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागाचे संपर्क क्षेत्र वाढते, ज्यामुळे रोटरची औपचारिकता आणि पडदा बेसचे संयोजन लक्षणीयरीत्या वाढू शकते.
बहुतेक सब्सट्रेट मटेरियलसाठी, सब्सट्रेटचा खडबडीतपणा कमी होताना, फिल्म अॅडहेसिव्ह वाढते, म्हणजेच, मेम्ब्रेन बेस बाइंडिंग फोर्स अधिक मजबूत होतो; काही सब्सट्रेट मटेरियल देखील आहेत जे विशेष प्रकरणांमध्ये असतात, जसे की सिरेमिक बेसचे फिल्म अॅडजस्टमेंट. कमी अंशांनी, म्हणजेच, मेम्ब्रेन बेस बाइंडिंग फोर्स कमकुवत होते.
फिल्म आणि फिल्मशी जुळणाऱ्या प्रभावक घटकांमध्ये, थर्मल बल्क गुणांक निर्णायक भूमिका बजावतो. जेव्हा फिल्मचा थर्मल विस्तार गुणांक मॅट्रिक्सच्या थर्मल विस्तार गुणांकापेक्षा जास्त असतो, तेव्हा टॉर्क नकारात्मक असतो आणि जास्तीत जास्त ताण मुक्त सीमेवर असतो. तो संकुचित होण्यासाठी केंद्राच्या केंद्राजवळ असतो आणि फिल्म थरांमध्ये थरलेली दिसू शकते. उदाहरण म्हणून सेडिमेंटरी स्किनस पातळ फिल्म घ्या. डायमंडचा थर्मल विस्तार गुणांक लहान असल्याने, जेव्हा गॅस फेज डिपॉझिशन संपते तेव्हा सब्सट्रेट तापमान उच्च सेडिमेंटरी तापमानापासून खोलीच्या तापमानापर्यंत कमी होते आणि सब्सट्रेटच्या तुलनेत डायमंडचे आकुंचन कमी होते. आत एक मोठा थर्मल ताण निर्माण होईल. जेव्हा फिल्मचा थर्मल विस्तार गुणांक सब्सट्रेटच्या हीटिंग लेजर गुणांकापेक्षा कमी असतो, तेव्हा टॉर्क सकारात्मक असतो आणि फिल्म थर करणे सोपे नसते.
- हा लेख प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माताग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट वेळ: फेब्रुवारी-२९-२०२४