प्रतिरोधक हीटिंग बाष्पीभवन स्त्रोताची रचना सोपी, वापरण्यास सोपी, बनवण्यास सोपी आहे, ही सर्वात जास्त वापरली जाणारी एक प्रकारची बाष्पीभवन स्रोत आहे. लोकांना सामान्यतः उष्णता जनरेटर किंवा बाष्पीभवन बोट म्हणतात.
वापरल्या जाणाऱ्या प्रतिरोधक सामग्रीची आवश्यकता ही आहे: उच्च तापमान, प्रतिरोधकता, उच्च तापमानावर कमी बाष्प दाब, पडदा सामग्रीसह कोणतीही रासायनिक प्रतिक्रिया नाही, बाहेर वायू आणि प्रदूषण निर्माण करत नाही. निवडलेले प्रतिरोधक गरम सामग्री प्रामुख्याने डब्ल्यू, मो, ता आणि इतर सामग्रीसारख्या रीफ्रॅक्टरी धातूंपासून किंवा उच्च-शुद्धता, उच्च-शक्तीचे ग्रेफाइट किंवा बोरॉन नायट्राइड सिंथेटिक वाहक सिरेमिक्स आणि इतर सामग्रीची निवड. कधीकधी, बाष्पीभवन स्रोत सामग्री म्हणून Fe, Ni, Ni-Cr मिश्र धातु आणि Pt देखील निवडू शकतात.
सामान्य पदार्थांचे (जसे की Ti, Mo, C, Ta, W, इत्यादी) विविध प्रतिरोधक उष्णता बाष्पीभवन स्रोत वितळण्याच्या बिंदूचे आणि बाष्प दाबाचे आणि तापमान संबंध वक्र वेगळे असतात. त्यापैकी, हीटिंग जंक्शन उत्पादनामुळे बाष्पीभवन तापमानाला गरम केल्यावर टंगस्टन ठिसूळ होते. दुसरीकडे, मॉलिब्डेनम शुद्धतेत बदलतो, काही ठिसूळ होतात तर काही नाहीत. टंगस्टन पाण्याच्या वाफेशी प्रतिक्रिया देऊन अस्थिर ऑक्सिजन संयुग WO3 तयार करतो.
म्हणून, जेव्हा टंगस्टन अवशिष्ट पाण्याच्या वाफेमध्ये गरम केले जाते तेव्हा गरम केलेले पदार्थ सतत कमी होत राहतात. जेव्हा अवशिष्ट वायूचा दाब कमी असतो तेव्हा जास्त भौतिक नुकसान होत नाही, परंतु ते पडद्याचे गंभीर दूषितीकरण असते.
फिलामेंटरी स्रोतांचा वापर करताना मेम्ब्रेन मटेरियलवरील हॉट वायर ओले होण्याकडे लक्ष दिले पाहिजे. उदाहरणार्थ, हॉट वायर तापमान खूप लवकर वाढते, मेम्ब्रेन मटेरियल सर्व मेम्ब्रेन मटेरियल ताबडतोब वितळवणे सोपे नसते आणि हॉट वायर ओले करणे पुरेसे नसते. परिणामी, न वितळलेला फिल्म वायर बास्केटमधून बाहेर पडू शकतो. त्याच वेळी, तापमानात खूप जलद वाढ झाल्यामुळे मेम्ब्रेन मटेरियल गॅसमध्ये लवकर बाहेर पडते, ज्यामुळे बुडबुडे किंवा स्प्लॅशिंग होते, परिणामी लहान थेंब तयार होतात जे सब्सट्रेटला चिकटतात. म्हणून, तापमान नियंत्रणासह फिलामेंट स्रोतांचा वापर करावा.
वायर बास्केट, शंकूच्या आकाराचे कॉइल किंवा स्पायरल कॉइलचा मुख्य तोटा म्हणजे फिल्म मटेरियलला आधार देणारे प्रमाण खूप कमी असते आणि या स्रोतामुळे फिल्म मटेरियलचे बाष्पीभवन झाल्यानंतर फिल्म मटेरियलचे प्रमाण कमी झाल्यामुळे गरम वायरचे तापमान वाढते, ज्यामुळे बाष्पीभवन दर वाढतो. बाष्पीभवन दराचे कठोर नियंत्रण आवश्यक असलेल्या फिल्म बनवण्याच्या प्रक्रियेसाठी ही देखील एक समस्या लक्षात घेतली पाहिजे.
(२) कार्य तत्व आणि रचना आकार आणि वापर वैशिष्ट्यपूर्ण
प्रतिरोधक हीटिंग बाष्पीभवन स्रोत, खरं तर, प्रतिरोधक हीटर आहे तो उष्णता जनरेटर किंवा बाष्पीभवन बोट थेट ऊर्जावान वापरून आहे, जेणेकरून मोठ्या प्रमाणात जूलमधून विद्युत प्रवाह गरम होईल आणि धातूच्या फिल्म सामग्रीला वितळण्यासाठी उच्च तापमान मिळेल, जेणेकरून त्याचे बाष्पीभवन एक प्रकारचे बाष्पीभवन स्रोत होईल.
- हा लेख प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माताग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट वेळ: फेब्रुवारी-२३-२०२४