Ион бүрэх гэдэг нь хийн ионууд эсвэл ууршуулсан материалын ион бөмбөгдөлтөөр урвалд орох бодисууд эсвэл ууршсан материалууд нь субстрат дээр хуримтлагдаж, ууршсан материалууд нь задрах эсвэл вакуум камерт хий ялгарах явдал юм. Хөндий катодын хатуу бүрэх төхөөрөмжийн техникийн зарчим нь хөндий катодын ион бүрэх бөгөөд энэ нь хөндий катодын ялгадас хуримтлуулах технологи юм.
Хөндий катодын ялгадас хуримтлуулах зарчмын тухай: Хөндий катодыг ялгаруулах арга нь плазмын цацраг үүсгэхийн тулд халуун катодын ялгадасыг ашигладаг бөгөөд катод нь хөндий тантал хоолой юм. Катод ба туслах анод нь хоорондоо ойрхон байрладаг бөгөөд эдгээр нь нумын цэнэгийг асаах хоёр туйл юм.
Хөндий катодын буулгах буу нь хоёр янзаар гал авалцдаг.
1, катодын тантал хоолойд хэрэглэсэн өндөр давтамжийн цахилгаан талбайн хэрэглээ, ингэснээр катодын тантал хоолой аргон ион руу аргон хий иончлох, дараа нь аргон ионоор тасралтгүй бөмбөгдөлт катодын тантал хоолой өдөөгдөж, электрон ялгаруулах хамгийн бага температурын стандарт хүртэл халааж, плазмын электрон цацраг үүсгэх хүртэл.
2, Туслах анод ба катодын тантал хоолойд 300В орчим тогтмол хүчдэл хэрэглэх хооронд катодын тантал хоолой нь аргон хий рүү шилжсэн хэвээр, 1Па-10Па аргоны хийн даралт, туслах анод ба катодын тантал хоолойн гэрэлтэх ялгаралт, байнгын бөмбөгдөлт үүсэх, үүснэ. 2300K-2400K температур хүртэл катодын тантал хоолой нь маш олон тооны электрон ялгаруулж, "гэрэлтэх цэнэг" -ээс "нумын цэнэг"-ээс "нумын цэнэг" болж өөрчлөгдөнө, энэ удаад хүчдэл нь 30V-60V хүртэл бага, дараа нь цахилгаан хангамжийн хоорондох катод ба анодын хувьд та плазмын электрон цацраг үүсгэж болно.
Катодын бүрэх төхөөрөмж
1、Бууны анхны бүтцийг сайжруулж, анхны хамгийн их гүйдэл 230А-аас 280А хүртэл.
2、Хөргөлтийн системийн анхны бүтцийг сайжруулж, анхны 4℃ мөсөн усны машиныг хөргөхөөс эхлээд өрөөний температурт хөргөх ус хөргөх хүртэл хэрэглэгчдийн цахилгааны зардлыг хэмнэнэ.
3, Механик дамжуулалтын анхны бүтцийг сайжруулж, соронзон шингэний дамжуулалтын бүтэц болгон өөрчил, өндөр температур нь эргэдэг хүрээг саатуулахгүй.
4, үр дүнтэй бүрэх талбай ￠ 650X1100, 750 X 1250X600 том хэмжээтэй, маш том хэмжээтэй хэт урт энгэрийн араа үйлдвэрлэгчдийг багтаах боломжтой.
Хөндий катодын ион бүрэх машиныг голчлон багаж хэрэгсэл, хөгц, том толин тусгал хөгц, хуванцар хэв, хутганы хутга болон бусад бүтээгдэхүүнийг бүрэхэд ашигладаг.
Шуудангийн цаг: 2022 оны 11-р сарын 07