Киноны өсөлттэй тулгарах нь маш чухал нөлөө үзүүлдэг. Хэрэв субстратын гадаргуугийн тэгш бус байдал нь их, гадаргуугийн согогтой хавсарч байвал энэ нь хальсны бэхэлгээ, өсөлтийн хурдад нөлөөлнө. Тиймээс вакуум бүрэх ажил эхлэхээс өмнө субстратын гадаргуугийн гадаргуугийн гадаргуугийн тэгш бус байдлын үүргийг гүйцэтгэдэг урьдчилсан боловсруулалт хийх болно. Хэт авианы хөндлөнгийн оролцооны дараа субстратын гадаргуу нь жижиг зураас үүсэх бөгөөд энэ нь нимгэн хальсан хэсгүүд болон субстратын гадаргуугийн контактын талбайг нэмэгдүүлж, роторын албан ёсны байдал, мембраны суурийн хослолыг ихээхэн нэмэгдүүлэх боломжтой.
Ихэнх субстратын материалын хувьд субстратын барзгар байдал буурах тусам хальсны наалдац нэмэгдэж, өөрөөр хэлбэл мембраны суурийг холбох хүч илүү хүчтэй болдог; керамик суурийн хальс гэх мэт онцгой тохиолдлууд болох зарим субстратын материалууд бас байдаг. Багассан градус, өөрөөр хэлбэл, мембраны суурийг холбох хүч сулардаг.
Кино ба хальсанд тохирох нөлөөлөгч хүчин зүйлсийн хувьд дулааны массын коэффициент нь шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг. Киноны дулааны тэлэлтийн коэффициент нь матрицын дулааны тэлэлтийн коэффициентээс их байх үед эргэлт нь сөрөг, хамгийн их хурцадмал байдал нь чөлөөт хил дээр байна. Энэ нь шахагдахын тулд төвийн төвд ойрхон байдаг бөгөөд хальс нь давхаргатай харагдаж болно. Тунамал Skinus нимгэн хальсыг жишээ болгон авч үзье. Алмазын дулааны тэлэлтийн коэффициент бага байдаг тул хийн фазын хуримтлал дуусахад субстратын температур өндөр тунамал температураас тасалгааны температур хүртэл буурч, субстраттай харьцуулахад алмазын агшилт багасдаг. Дотор нь их хэмжээний дулааны стресс үүсэх болно. Киноны дулааны тэлэлтийн коэффициент нь субстратын халаалтын дэвтэрийн коэффициентээс бага байх үед эргэлт нь эерэг бөгөөд хальс нь давхаргад хялбар биш юм.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 2-р сарын 29