Эсэргүүцлийн халаалтын ууршилтын эх үүсвэрийн бүтэц нь энгийн, хэрэглэхэд хялбар, хийхэд хялбар, хамгийн өргөн хэрэглэгддэг ууршилтын нэг төрлийн эх үүсвэр юм. Хүмүүсийг ихэвчлэн дулааны генератор эсвэл ууршуулах завь гэж нэрлэдэг.
Ашигласан эсэргүүцлийн материалд тавигдах шаардлага нь: өндөр температур, эсэргүүцэл, өндөр температурт уурын даралт бага, мембран материалтай химийн урвал явагдахгүй, хий ялгаруулах, бохирдуулахгүй. Сонгосон эсэргүүцэлтэй халаах материалыг голчлон W, Mo, Ta гэх мэт галд тэсвэртэй металлаас эсвэл өндөр цэвэршилттэй, өндөр бат бэх бал чулуу эсвэл борын нитридын синтетик дамжуулагч керамик болон бусад материалыг сонгох. Заримдаа ууршилтын эх үүсвэр болох Fe, Ni, Ni-Cr хайлш, Pt зэргийг сонгож болно.
Төрөл бүрийн эсэргүүцлийн халаалтын ууршилтын эх үүсвэрийн нийтлэг материал (Ti, Mo, C, Ta, W гэх мэт) хайлах цэг ба уурын даралт, температурын хамаарлын муруй өөр байна. Тэдгээрийн дотроос вольфрам нь халаалтын уулзварын бүтээгдэхүүнээс болж ууршилтын температур хүртэл халах үед хэврэг болдог. Харин молибден нь цэвэршилтээрээ ялгаатай, зарим нь хэврэг болж, зарим нь хэврэг болдог. Гянт болд нь усны ууртай урвалд орж дэгдэмхий хүчилтөрөгчийн нэгдэл WO3 үүсгэдэг.
Тиймээс вольфрамыг үлдэгдэл усны ууранд халаах үед халсан материал тасралтгүй шавхагддаг. Үлдэгдэл хийн даралт бага байх үед материаллаг алдагдал их гардаггүй ч энэ нь мембраны ноцтой бохирдол юм.
Судасны эх үүсвэрийг ашиглахдаа мембран материал дээр халуун утсыг норгоход анхаарлаа хандуулах хэрэгтэй. Жишээлбэл, халуун утсан температур хэт хурдан өсдөг, мембран материал нь мембраны бүх материалыг нэн даруй хайлахад хялбар биш бөгөөд халуун утсыг норгох нь хангалтгүй юм. Үүний үр дүнд хайлаагүй хальс нь утсан сагсаас унаж болно. Үүний зэрэгцээ, температурын хэт хурдан өсөлт нь хийн дэх мембран материалыг хурдан ялгаруулж, бөмбөлөг үүсгэх эсвэл цацахад хүргэдэг бөгөөд үр дүнд нь жижиг дуслууд субстрат дээр наалддаг. Тиймээс судалтай эх үүсвэрийг температурын хяналттай ашиглах хэрэгтэй.
Утасны сагс, конусан ороомог эсвэл спираль ороомгийн гол сул тал нь тулгуур хальсны материалын хэмжээ хэт бага байдаг бөгөөд энэ эх үүсвэр нь хальс материалыг ууршуулсаны дараа хальсны материалын хэмжээ багасах тусам халуун утасны температур нэмэгдэх бөгөөд ингэснээр ууршилтын хурд нэмэгдэх болно. Энэ нь ууршилтын хурдыг хатуу хянах шаардлагатай кино бүтээх явцад анхаарах ёстой асуудал юм.
(2) Ажлын зарчим, бүтцийн хэлбэр, ашиглалтын шинж чанар
Эсэргүүцлийн халаалтын ууршилтын эх үүсвэр нь үнэндээ эсэргүүцэл халаагч бөгөөд энэ нь дулааны генератор эсвэл ууршилтын завь ашиглан шууд эрчим хүчээр ажилладаг бөгөөд ингэснээр гүйдэл нь олон тооны Жоуль дулааныг дамжуулж, өндөр температурт метал хальсан материалыг хайлуулж, ууршилт нь нэг төрлийн ууршилтын эх үүсвэр болдог.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 2-р сарын 23-ны хооронд

