Ko te pupuhi a Magnetron te nuinga ko te kawe i te plasma whakaheke, te tarai i te whaainga, te whakatakotoranga kiriata angiangi me etahi atu tikanga, ka whai paanga te papa aukume i runga i te mahi a te magnetron sputtering. I roto i te pūnaha sputtering magnetron me te mara autō orthogonal, ko nga irahiko kei raro i te mahi a te kaha Lorentz me te mahi i nga nekehanga hikoi torino, me tutuki tonu te tukinga ki te neke haere ki te anode, na te tukinga he waahanga o nga irahiko kia tae ki te anode i muri i te iti o te kaha, kaore ano te wera o te pupuhi i runga i te taputapu. I tua atu, na te kaha o te irahiko i te whaainga o te papa autō, i te mata o te paanga aukume o te rohe kei roto i te rerenga rerenga he tino tiketike tenei awhe iti o te kukū irahiko, me te paanga autō o te rohe kei waho o te mata tïpako, ina koa i tawhiti atu i te papa autō e tata ana ki te mata, ko te kukū o te irahiko na te mararatanga o te iti me te ahua o te tohatoha o te hau, me te iti ake o te rereketanga o te pehanga o te hau e rua. he raupapa o te nui). Te kiato iti o te irahiko bombarding te mata o te tïpako, kia te poma o te tïpako meinga e te piki pāmahana raro, i te mea te tikanga matua o magnetron sputtering tïpako piki pāmahana he iti. I tua atu, mehemea he waahi hiko anake, ka tae atu nga irahiko ki te anode i muri i te tawhiti poto, a ko te tupono o te tukinga me te hau mahi he 63.8% anake. Me te taapiri i te papa autō, nga irahiko i te wa e neke ana ki te anode ki te mahi i te nekehanga torino, te mara autō ka herea me te whakawhānui i te hikoi o nga irahiko, te whakapai ake i te tupono o te tukinga o nga irahiko me nga hau mahi, e tino whakatairanga ana i te puta mai o te ionization, te ionization me te whakaputa ano i nga irahiko ka uru atu ki te tukanga o te tukinga, ka kaha ake te kaha o te tukinga, ka nui ake te kaha o te tukinga. nga irahiko, a na reira i roto i te hanganga o te kiato-tiketike Ka piki te kiato plasma i roto i te rere o te mura o te plasma. Ko te tere o te pupuhi i nga ngota mai i te whaainga ka piki ake, ka kaha ake te kaha o te puhipuhi o nga katote pai na te puhipuhi o te whaainga e nga katote pai, koinei te take mo te nui o te reeti o te whakapoipoi magnetron. I tua atu, ko te aroaro o te papa aukume ka taea te mahi i te punaha pupuhi i raro i te pehanga hau, iti 1 mo te pehanga hau ka taea te hanga i nga katote i roto i te rohe paparanga hei whakaiti i te tukinga, te pupuhi o te whaainga me te kaha kinetic ahua nui, me te ra e taea ai te whakaiti i nga ngota whaainga me te tukinga hau kupapaku, hei aukati i nga ngota o te ngota ki te marara atu i te pakitara o te taputapu, ki te whakapai ake i nga ngota o te mata ki te marara o te mata. me te kounga o te waipara kiriata angiangi.
Ka taea e te papa autō whainga te aukati i te hikoi o nga irahiko, ka pa ki nga taonga plasma me te tarai o nga katote i runga i te whaainga.
Aroturuki: te whakanui ake i te tauritenga o te papa autō whainga ka taea te whakanui ake i te riterite o te mata o te mata o te whaainga, na reira ka pai ake te whakamahi i nga rauemi kua tohua; Ka taea hoki e te tohatoha mara electromagnetic tika te whakapai ake i te pumau o te tukanga sputtering. No reira, mo te whainga e pupuhi ana te magnetron, he mea nui te rahi me te tohatoha o te papa autō.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Wā tuku: Tihema-14-2023