Magnetron sputtering indrindra dia ahitana ny fandefasana ranon-dra fitaterana, kendrena etching, manify film deposition sy ny dingana hafa, ny sahan'andriamby eo amin'ny magnetron sputtering dingana dia hisy fiantraikany. Ao amin'ny magnetron sputtering rafitra miampy orthogonal andriamby saha, ny elektrôna dia iharan'ny ny andraikitry ny Lorentz hery sy manao miolakolaka trajectory hetsika, dia tsy maintsy mandalo fifandonana tsy tapaka mba hifindra tsikelikely ho any amin'ny anode, noho ny fifandonana mahatonga ny ampahany amin'ny elektronika ho tonga ny anode rehefa kely ny angovo, ny hafanan'ny baomba amin'ny substrate koa tsy lehibe. Ankoatra izany, noho ny elektrôna amin'ny alalan'ny lasibatra sahan'andriamby faneriterena, ao amin'ny kendrena ambonin'ny andriamby vokatry ny faritra izay ao anatin'ny fivoahana runway ity eo an-toerana kely isan-karazany ny electron fifantohana dia tena avo, ary ny andriamby vokany eo amin'ny faritra ivelan'ny substrate ambonin'ny, indrindra fa lavitra ny sahan'andriamby akaikin'ny ambonin'ny, ny electron fifantohana noho ny fanaparitahana ny ambany be sy somary fanamiana ny toe-javatra (eo ho eo ambany ny fanerena ny fanaparitahana ny entona, ary na dia ambany kokoa noho ny entona fanaparitahana ny fanaparitahana ny entona. filaharan'ny habeny). Ny ambany hakitroky ny elektrôna baomba ny ambonin'ny substrate, ka ny baomba ny substrate vokatry ny ambany mari-pana miakatra, izay no tena rafitra ny magnetron sputtering substrate mari-pana ambony ambany. Ankoatr'izay, raha tsy misy afa-tsy saha elektrika, dia tonga any amin'ny anode ny elektrôna rehefa avy lavitra be, ary ny mety hisian'ny fifandonana amin'ny entona miasa dia 63,8%. Ary ampio ny sahan'andriamby, elektrôna ao amin'ny dingan'ny mifindra any amin'ny anode hanao miolakolaka motion, ny sahan'andriamby mifatotra sy hanitatra ny lalan'ny elektrôna, tena manatsara ny mety hisian'ny fifandonan'ny elektronika sy ny entona miasa, izay tena mampiroborobo ny fisian'ny ionization, ionization ary avy eo indray mamokatra elektrôna koa manatevin-daharana ny dingan'ny fifandonan'ny, ny mety ho nitombo ny fifandonan'ny hery maro, ny mety hisian'ny fifandonana maro. ny elektrôna, ary noho izany amin'ny fiforonan'ny avo lenta Ny haavon'ny plasma dia mitombo amin'ny fivoahan'ny hazavana tsy fahita firy amin'ny plasma. Ny tahan'ny sputtering avy atôma avy amin'ny tanjona dia nitombo ihany koa, ary ny tanjona sputtering vokatry ny daroka baomba ny kendrena amin'ny alalan'ny ion tsara dia mahomby kokoa, izay no anton'ny avo ny tahan'ny magnetron sputtering deposition. Ankoatra izany, ny fisian'ny sahan'andriamby ihany koa dia afaka manao ny sputtering rafitra miasa amin'ny ambany fanerena rivotra, ambany 1 ho an'ny rivotra tsindry dia afaka manao ion ao amin'ny fonony sosona faritra mba hampihenana ny fifandonana, baomba ny lasibatra amin'ny somary lehibe angovo kinetic, ary ny andro mba hampihenana ny sputtered kendrena atôma sy ny tsy miandany fifandonan'ny entona, mba hisorohana ny lasibatra ny tahan'ny ho any amin'ny lasibatra ny fitaovana mba hampielezana ny rindrina ny fitaovana. ary ny kalitaon'ny fametrahana sarimihetsika manify.
Ny sahan'andriamby kendrena dia afaka manery tsara ny lalan'ny elektrôna, izay misy fiantraikany amin'ny toetran'ny plasma sy ny fanodikodinana ion amin'ny kendrena.
Trace: mampitombo ny fitovian'ny sahan'andriamby lasibatra dia afaka mampitombo ny fitovian'ny etching ambonin'ny kendrena, ka manatsara ny fampiasana ny fitaovana kendrena; Ny fizarana sehatra elektromagnetika ara-drariny dia afaka manatsara ny fahamarinan'ny fizotran'ny sputtering. Noho izany, ho an'ny lasibatra manetriketrika, ny habeny sy ny fizarana ny sahan'andriamby dia tena zava-dehibe.
– Ity lahatsoratra ity dia navoakan'nyVacuum coating mpanamboatra milinaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: Dec-14-2023