Plēves augšanas novēršanai ir ļoti svarīga ietekme. Ja substrāta virsmas raupjums ir liels un arvien vairāk apvienojumā ar virsmas defektiem, tas ietekmēs plēves piestiprināšanos un augšanas ātrumu. Tāpēc pirms vakuuma pārklāšanas sākuma substrāts tiks iepriekš apstrādāts, kas ietekmē substrāta virsmas raupjumu uz substrāta virsmas. Pēc ultraskaņas iejaukšanās substrāta virsmā veidosies neliela skramba, kas palielinās plānās plēves daļiņu un substrāta virsmas saskares laukumu, kas var ievērojami palielināt rotora un membrānas pamatnes kombinācijas formalitāti.
Lielākajai daļai substrātu materiālu, samazinoties substrāta raupjumam, palielinās plēves saķere, tas ir, membrānas pamatnes saistīšanas spēks kļūst spēcīgāks; ir arī daži substrātu materiāli, kas ir īpaši gadījumi, piemēram, keramikas pamatnes plēves piestiprināšanās. Samazinoties pakāpei, tas ir, membrānas pamatnes saistīšanas spēks kļūst vājāks.
Plēvi un plēvi ietekmējošo faktoru ietekmē izšķiroša nozīme ir termiskās tilpuma koeficientam. Ja plēves termiskās izplešanās koeficients ir lielāks par matricas termiskās izplešanās koeficientu, griezes moments ir negatīvs, un maksimālais spriegums ir brīvajā robežā. Tā kā plēve ir saspiesta tuvu centram, tā var izskatīties slāņaina. Kā piemēru var minēt nogulumiežu Skinus plāno plēvi. Tā kā dimanta termiskās izplešanās koeficients ir mazs, pēc gāzes fāzes nogulsnēšanās substrāta temperatūra samazinās no augstākas nogulumiežu temperatūras līdz istabas temperatūrai, un dimanta saraušanās salīdzinājumā ar substrātu samazinās. Iekšpusē radīsies liels termiskais spriegums. Ja plēves termiskās izplešanās koeficients ir mazāks par substrāta sildīšanas koeficientu, griezes moments ir pozitīvs, un plēvi nav viegli slāņot.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 29. februāris