Pieaugot izsmidzināšanas pārklājumu, īpaši magnetrona izsmidzināšanas pārklājumu tehnoloģijas, attīstībai, pašlaik jebkuram materiālam var sagatavot mērķa plēvi ar jonu bombardēšanas metodi. Tā kā mērķis tiek izsmidzināšanas procesā uzklāts uz kāda veida substrāta, izmērītās plēves kvalitātei ir svarīga ietekme, tāpēc prasības mērķa materiālam ir kļuvušas stingrākas. Izvēloties mērķa materiālu, papildus pašas plēves izmantošanai jāņem vērā arī šādi jautājumi:
Mērķa materiālam pēc plēves uzklāšanas jābūt labai mehāniskajai izturībai un ķīmiskajai stabilitātei;
Mērķim un substrātam jābūt stingri savienotiem, pretējā gadījumā tas jāuzņem ar substrātu ar labu membrānas slāņa kombināciju, vispirms uzsmidzinot pamatplēvi un pēc tam sagatavojot nepieciešamo membrānas slāni;
Kā reakcijas izsmidzināšanai membrānas materiālā jābūt viegli reaģējošai ar gāzi, lai radītu savienojuma plēvi.
Saskaņā ar membrānas veiktspējas prasību izpildes priekšnoteikumu, starpība starp mērķa materiāla un substrāta termiskās izplešanās koeficientu ir pēc iespējas mazāka, lai samazinātu termiskā sprieguma ietekmi uz izsmidzināto membrānu.
Atbilstoši membrānas lietošanas un veiktspējas prasībām mērķa materiālam jāatbilst tīrības, piemaisījumu satura, komponentu vienmērīguma, apstrādes precizitātes un citām tehniskām prasībām.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 9. janvāris