Plėvelės augimo poveikis yra labai svarbus. Jei pagrindo paviršiaus šiurkštumas yra didelis ir vis labiau derinamas su paviršiaus defektais, tai turės įtakos plėvelės prisitvirtinimui ir augimo greičiui. Todėl prieš pradedant vakuuminį dengimą, pagrindas bus iš anksto apdorojamas, o tai lems pagrindo paviršiaus šiurkštumo poveikį. Po ultragarso poveikio pagrindo paviršiuje susidarys nedidelis įbrėžimas, kuris padidins plonos plėvelės dalelių ir pagrindo paviršiaus sąlyčio plotą, o tai gali žymiai padidinti rotoriaus ir membranos pagrindo derinio formalumą.
Daugumai substrato medžiagų, mažėjant substrato šiurkštumui, didėja plėvelės sukibimas, t. y. membranos pagrindo sukibimo jėga tampa stipresnė; taip pat yra substrato medžiagų, kurios yra ypatingi atvejai, pavyzdžiui, keraminio pagrindo plėvelės sukibimas. Sumažėjus laipsniui, t. y. membranos pagrindo sukibimo jėga silpnėja.
Plėvelę ir plėvelę veikiančių veiksnių kontekste lemiamą vaidmenį atlieka terminio tūrio koeficientas. Kai plėvelės terminio plėtimosi koeficientas yra didesnis nei matricos terminio plėtimosi koeficientas, sukimo momentas yra neigiamas, o didžiausias įtempimas yra laisvojoje riboje. Jis yra arti centro, kad suspaustų, ir plėvelė gali atrodyti sluoksniuota. Pavyzdžiui, paimkime nuosėdinę „Skinus“ plonąją plėvelę. Kadangi deimanto terminio plėtimosi koeficientas yra mažas, pasibaigus dujų fazės nusėdimui, substrato temperatūra sumažėja nuo aukštesnės nuosėdų temperatūros iki kambario temperatūros, o deimanto susitraukimas, palyginti su substratu, sumažėja. Viduje susidarys didelis terminis įtempis. Kai plėvelės terminio plėtimosi koeficientas yra mažesnis nei substrato kaitinimo koeficientas, sukimo momentas yra teigiamas, ir plėvelę sunku sluoksniuoti.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. vasario 29 d.