Tobulėjant dulkių dengimo, ypač magnetroninio dulkių dengimo technologijai, šiuo metu bet kokiai medžiagai galima paruošti jonų bombardavimo taikinio plėvelę. Kadangi taikinys yra purškiamas dengiant jį ant tam tikro pagrindo, matavimo plėvelės kokybė turi didelę įtaką, todėl reikalavimai taikinio medžiagai taip pat yra griežtesni. Renkantis taikinio medžiagą, be pačios plėvelės naudojimo, taip pat reikėtų atsižvelgti į šiuos klausimus:
Tikslinė medžiaga po plėvelės turi turėti gerą mechaninį stiprumą ir cheminį stabilumą;
Tikslas ir substratas turi būti tvirtai sujungti, kitaip reikia naudoti substratą su geru membraninio sluoksnio deriniu, pirmiausia užpurkšti pagrindinę plėvelę, o tada paruošti reikiamą membraninį sluoksnį;
Kadangi reakcija vyksta purškiant į membranos medžiagą, ji turi lengvai reaguoti su dujomis, kad susidarytų sudėtinė plėvelė.
Remiantis prielaida, kad membrana atitinka eksploatacinius reikalavimus, skirtumas tarp tikslinės medžiagos ir pagrindo šiluminio plėtimosi koeficiento yra kuo mažesnis, kad būtų kuo labiau sumažinta šiluminio įtempio įtaka purškiamai membranai.
Pagal membranos naudojimo ir eksploatacinius reikalavimus, tikslinė medžiaga turi atitikti grynumo, priemaišų kiekio, komponentų vienodumo, apdirbimo tikslumo ir kitus techninius reikalavimus.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. sausio 9 d.