ຄໍາແນະນໍາກ່ຽວກັບເຕັກນິກແບບດັ້ງເດີມສໍາລັບການຝາກເງິນເຄືອບແຂງ

1. ເຕັກໂນໂລຊີ CVD ຄວາມຮ້ອນ

ການເຄືອບແຂງແມ່ນສ່ວນຫຼາຍແມ່ນເຄື່ອງເຄືອບເຊລາມິກໂລຫະ (TiN, ແລະອື່ນໆ), ທີ່ຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນໂດຍປະຕິກິລິຍາຂອງໂລຫະໃນການເຄືອບແລະ reactive gasification. ໃນຕອນທໍາອິດ, ເທກໂນໂລຍີ CVD ຄວາມຮ້ອນໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອໃຫ້ພະລັງງານກະຕຸ້ນຂອງປະຕິກິລິຍາປະສົມປະສານໂດຍພະລັງງານຄວາມຮ້ອນໃນອຸນຫະພູມສູງຂອງ 1000 ℃. ອຸນຫະພູມນີ້ແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບການຝາກ TiN ແລະການເຄືອບແຂງອື່ນໆໃສ່ເຄື່ອງມືຊີມັງ carbide. ມາຮອດປະຈຸ, ມັນຍັງເປັນເທກໂນໂລຍີທີ່ສໍາຄັນທີ່ຈະຝາກເຄື່ອງເຄືອບ TiN-Al20 ໃສ່ຫົວເຄື່ອງມືຊີມັງ carbide.

2. ການເຄືອບ ion cathode hollow ແລະສາຍຮ້ອນ arc ion coating

ໃນຊຸມປີ 1980, ການເຄືອບ ion cathode hollow ແລະສາຍຮ້ອນ arc ion coating ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຝາກເຄື່ອງມືຕັດເຄືອບ. ເທັກໂນໂລຍີການເຄືອບ ion ທັງສອງອັນນີ້ແມ່ນເທັກໂນໂລຍີການເຄືອບ ion ການໄຫຼອອກຂອງອາກ, ທີ່ມີອັດຕາການ ionization ໂລຫະສູງເຖິງ 20% ~ 40%.

3. ການເຄືອບ Cathode arc ion

ການປະກົດຕົວຂອງການເຄືອບ ion cathodic arc ໄດ້ນໍາໄປສູ່ການພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີຂອງການຝາກເຄືອບແຂງໃສ່ molds. ອັດຕາການ ionization ຂອງການເຄືອບ cathodic arc ion ແມ່ນ 60% ~ 90%, ອະນຸຍາດໃຫ້ຈໍານວນຂະຫນາດໃຫຍ່ຂອງ ions ໂລຫະແລະ ions ອາຍແກັສຕິກິຣິຍາສາມາດບັນລຸຫນ້າດິນຂອງ workpiece ໄດ້ແລະຍັງຮັກສາກິດຈະກໍາສູງ, ເຮັດໃຫ້ເກີດປະຕິກິລິຢາ deposition ແລະການສ້າງຕັ້ງຂອງເຄືອບແຂງເຊັ່ນ: TiN. ໃນປັດຈຸບັນ, ເທກໂນໂລຍີການເຄືອບ cathodic arc ion ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ເພື່ອຝາກການເຄືອບແຂງໃສ່ແມ່ພິມ.

ແຫຼ່ງຂອງ arc cathode ເປັນແຫຼ່ງ evaporation ຂອງລັດແຂງໂດຍບໍ່ມີການສະນຸກເກີ molten ຄົງ, ແລະຕໍາແຫນ່ງແຫຼ່ງ arc ສາມາດໄດ້ຮັບການວາງ arbitrarily, ການປັບປຸງອັດຕາການນໍາໃຊ້ພື້ນທີ່ຂອງຫ້ອງເຄືອບແລະການເພີ່ມຄວາມສາມາດໃນການໂຫຼດ furnace ໄດ້. ຮູບຮ່າງຂອງແຫຼ່ງ cathode arc ປະກອບມີແຫຼ່ງ cathode ວົງມົນຂະຫນາດນ້ອຍ, ແຫຼ່ງ arc columnar, ແລະແຫຼ່ງ arc ແປຂະຫນາດໃຫຍ່. ອົງປະກອບທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງແຫຼ່ງ arc ຂະຫນາດນ້ອຍ, ແຫຼ່ງ arc columnar, ແລະແຫຼ່ງ arc ຂະຫນາດໃຫຍ່ສາມາດຈັດລຽງແຍກຕ່າງຫາກເພື່ອຝາກຮູບເງົາຫຼາຍຊັ້ນແລະ nano multilayer films. ໃນຂະນະດຽວກັນ, ເນື່ອງຈາກອັດຕາການ ionization ໂລຫະສູງຂອງການເຄືອບ ion cathodic arc, ions ໂລຫະສາມາດດູດຊຶມທາດອາຍຜິດປະຕິກິລິຢາຫຼາຍ, ຜົນໄດ້ຮັບໃນຂະບວນການກ້ວາງແລະການດໍາເນີນງານງ່າຍດາຍເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຮັບການເຄືອບແຂງທີ່ດີເລີດ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ມີ droplets ຫຍາບຢູ່ໃນຈຸນລະພາກຂອງຊັ້ນເຄືອບທີ່ໄດ້ຮັບໂດຍການເຄືອບ cathodic arc ion. ໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້, ເຕັກໂນໂລຢີໃຫມ່ຈໍານວນຫຼາຍໄດ້ເກີດຂື້ນເພື່ອປັບປຸງໂຄງສ້າງຂອງຊັ້ນຮູບເງົາ, ເຊິ່ງໄດ້ປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາເຄືອບ arc ion.

—— ບົດຄວາມນີ້ຖືກເປີດເຜີຍໂດຍ Guangdong Zhenhua Technology, aຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບ optical.