D'Struktur vun der Widderstandsheizungsverdampfungsquell ass einfach, einfach ze benotzen, einfach ze maachen, an ass déi am meeschte verbreet Aart vu Verdampfungsquell. D'Leit ginn normalerweis Hëtztgenerator oder Verdampfungsboot genannt.
D'Ufuerderunge fir d'Heizung vum benotzte Widderstandsmaterial sinn: héich Temperatur, Widderstand, niddrege Dampdrock bei héijen Temperaturen, keng chemesch Reaktioun mam Membranmaterial, keng Ausgasung a Verschmotzung. D'Widderstandsheizungsmaterialien ginn haaptsächlech aus refraktäre Metaller wéi W, Mo, Ta an aner Materialien ausgewielt, oder aus héichreinegem, héichfestem Graphit oder Bornitrid synthetesche leetfäege Keramik an aner Materialien. Heiansdo kënnen och Fe, Ni, Ni-Cr Legierungen a Pt als Verdampfungsquellmaterial gewielt ginn.
Verschidde Widderstandsquellen fir d'Heizung an d'Verdampfung vu gemeinsame Materialien (wéi Ti, Mo, C, Ta, W, etc.) hunn ënnerschiddlech Schmelzpunkt- a Dampdrock-Temperatur-Bezéiungskurve. Wolfram gëtt brécheg wann en op d'Verdampfungstemperatur erhëtzt gëtt wéinst dem Heizverbindungsprodukt. Molybdän variéiert dogéint a senger Rengheet, woubäi e puer brécheg ginn an anerer net. Wolfram reagéiert mat Waasserdamp fir déi flüchteg Sauerstoffverbindung WO3 ze bilden.
Dofir, wann Wolfram a Reschtwaasserdamp erhëtzt gëtt, gëtt dat erhëtzt Material kontinuéierlech ofgebaut. Wann den Reschtgasdrock niddreg ass, gëtt et net vill Materialverloscht, awer et ass eng eescht Kontaminatioun vun der Membran.
Beim Gebrauch vu Filamentquellen sollt op d'Naassung vum waarme Drot um Membranmaterial opgepasst ginn. Zum Beispill, wann d'Temperatur vum waarme Drot ze séier eropgeet, ass et net einfach, datt d'Membranmaterial direkt all d'Membranmaterial schmëlzt, an d'Naassung vum waarme Drot ass net genuch. Dofir kann de geschmollte Film aus dem Drotkuerf falen. Gläichzäiteg kann en ze séieren Temperaturanstieg och dozou féieren, datt de Gas vum Membranmaterial séier fräigesat gëtt, wat zu Blasen oder Sprëtzer féiert, wouduerch kleng Drëpsen um Substrat hänke bleiwen. Dofir sollten d'Filamentquellen mat Temperaturkontroll benotzt ginn.
Den Haaptnodeel vu Drotkuerf, konesche Spullen oder Spiralspullen ass, datt d'Quantitéit u Stützfoliematerial ze kleng ass, an dës Quell féiert dozou, datt d'Temperatur vum waarme Drot eropgeet, well d'Quantitéit u Folienmaterial no der Verdampfung vum Folienmaterial erofgeet, wouduerch d'Verdampfungsquote eropgeet. Dëst ass och e Problem, dat beim Folienherstellungsprozess bemierkbar ass, deen eng strikt Kontroll vun der Verdampfungsquote erfuerdert.
(2) De Funktionsprinzip a Strukturform a Gebrauchscharakteristik
Eng Widderstandsheizungs-Verdampfungsquell ass tatsächlech eng Widderstandsheizung. Et gëtt vun engem Wärmegenerator oder engem Verdampfungsboot direkt ugedriwwen, sou datt de Stroum duerch eng grouss Zuel vu Joule an eng héich Temperatur schmëlzt, fir datt d'Metallfilmmaterial verdampft a sou eng Verdampfungsquell gëtt.
– Dësen Artikel gouf publizéiert vunHiersteller vu VakuumbeschichtungsmaschinnenGuangdong Zhenhua
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 23. Februar 2024