Prensîba teknîkî ya alavên pêçandina hişk a katoda vala çi ye?

Pêçandina îyonan tê wê wateyê ku reaktant an materyalên buharbûyî bi bombebarana îyonan a îyonên gazê an materyalên buharbûyî li ser substratê têne danîn dema ku materyalên buharbûyî di odeyek valahiyê de ji hev vediqetin an gaz têne derxistin. Prensîba teknîkî ya alavên pêçandina hişk a katoda vala pêçandina îyonên katoda vala ye, ku teknolojiyek danîna derxistina katoda vala ye.

Derbarê prensîba danîna rijandina katoda vala de: Teknîka danîna rijandina katoda vala rijandina katoda germ bikar tîne da ku tîrêjek plazmayê çêbike, û katod lûleyek tantaluma vala ye. Katod û anoda alîkar nêzîkî hev in, ku ew du qutbên ku rijandina arkê pêdixin in.

Topa depokirina katoda vala bi du awayan vêdikeve.
1, Bikaranîna zeviya elektrîkê ya frekanseke bilind li ser lûleya tantaluma katodê tê sepandin, da ku gaza argonê ya lûleya tantaluma katodê dibe îyonên argonê û dûv re ji hêla lûleya tantaluma katodê ve bi berdewamî ji hêla îyonên argonê ve tê tetikandin, heya ku germahî bigihîje germahiya herî kêm a standarda derdana elektronê û tîrêjên elektronê yên plazmayê çêbike.

2, Di navbera lûleya tantaluma anoda alîkar û katodê de, voltaja DC ya nêzîkî 300V, lûleya tantaluma katodê hîn jî derbasî gaza argonê dibe, di zexta gaza argonê ya 1Pa-10Pa de, fenomena derxistina şewqê ya lûleya tantaluma anoda alîkar û katodê de çêdibe, bombebarana îyonên argonê bi berdewamî lûleya tantaluma katodê bombebaran dike, heya germahiya 2300K-2400K, lûleya tantaluma katodê hejmareke mezin ji elektronan derdixe, ji "derxistina şewqê" ber bi "derxistina kevanê" ve tê guhertin, vê carê voltaja bi qasî 30V-60V kêm e, wê hingê heya ku katod û anodê di navbera dabînkirina hêzê de bin, hûn dikarin tîrêjên elektronê yên plazmayê çêbikin.

Amûrên pêçandina katodîk
1, avahiya çekê orîjînal baştir bike, ji herikîna herî zêde ya orîjînal a 230A berbi 280A.
2, avahiya pergala sarkirinê ya orîjînal baştir bike, ji sarkirina makîneya ava qeşayê ya orîjînal a 4℃ heta sarkirina ava sarkirinê ya germahiya odeyê, û lêçûna elektrîkê ji bo bikarhêneran xilas bike.
3, Struktura veguheztina mekanîkî ya orîjînal baştir bike, ji bo avahiya veguheztina şilava magnetîkî hate guhertin, germahiya bilind dê çarçoveya zivirî asteng neke.
4, qada pêçandina bi bandor   650X1100, dikare qalib û alavên mezin ên 750 X 1250X600 yên broçên pir dirêj ên bi qebareyek pir mezin bicîh bike.

Makîneya pêçandina îyonê katodê ya vala bi giranî di pêçandina amûran, qaliban, qalibên neynika mezin, qalibên plastîk, kêrên hobkirinê û hilberên din de tê bikar anîn.