Sputterkirina magnetronê bi giranî veguhastina plazmaya dakêşanê, gravkirina armancê, danîna fîlma zirav û pêvajoyên din vedihewîne, bandora zeviya magnetîkî li ser pêvajoya sputterkirina magnetronê dê hebe. Di pergala sputterkirina magnetronê de û her weha zeviya magnetîkî ya ortogonal, elektron di bin bandora hêza Lorentz de ne û tevgera rêça spiral dikin, divê ji bo ku hêdî hêdî ber bi anodê ve biçin pevçûnek domdar derbas bikin, ji ber ku pevçûn dibe sedema ku beşek ji elektronan piştî ku bigihîjin anodê enerjî piçûk be, germahiya bombebaranê li ser substratê jî ne mezin e. Wekî din, ji ber ku elektron ji hêla qada magnetîkî ya armancê ve sînordar e, di rûyê hedefê de bandora magnetîkî ya herêma ku di nav rêça dakêşanê de ye ev rêza piçûk a herêmî ya konsantrasyona elektronan pir zêde ye, û di bandora magnetîkî ya herêma li derveyî rûyê substratê de, nemaze dûrî zeviya magnetîkî ya nêzîkî rûyê, belavbûna elektronan ji ber belavbûna wê pir kêmtir û nisbeten yekreng e, û tewra ji şert û mercên sputterkirina dîpolê jî kêmtir e (ji ber cûdahiya zexta gaza xebatê ya du rêzan). Ji ber ku densiteya elektronan rûyê substratê bombebaran dike, bombebarana substratê ji ber bilindbûna germahiyê kêm dibe, ku ev mekanîzmaya sereke ya sputterkirina magnetronê ye û germahiya substratê kêm e. Wekî din, heke tenê zeviyek elektrîkê hebe, elektron piştî mesafeyek pir kurt digihîjin anodê, û îhtîmala pevçûnê bi gaza xebatê re tenê %63.8 e. Û zeviya magnetîkî lê zêde bikin, elektron di pêvajoya tevgera spiral de ber bi anodê ve diçin, zeviya magnetîkî rêça elektronan dirêj dike, îhtîmala pevçûnê ya elektron û gazên xebatê pir zêde dike, ku ev yek pir zêde dibe sedema îyonîzasyonê, îyonîzasyonê û dûv re jî elektronan çêdikin û tevlî pêvajoya pevçûnê dibin, îhtîmala pevçûnê dikare bi çend rêzên mezinahî zêde bibe, bi bandor enerjiya elektronan bikar tîne, û bi vî rengî di çêbûna densiteya bilind de densiteya plazmayê di daketina şewqa anormal a plazmayê de zêde dibe. Rêjeya derketina atoman ji hedefê jî zêde dibe, û belavbûna hedefê ya ji ber bombebarankirina hedefê ji hêla iyonên pozîtîf ve çêdibe bi bandortir e, ku ev jî sedema rêjeya bilind a danîna magnetronê ya bi belavkirina magnetronê ye. Wekî din, hebûna zeviya magnetîkî dikare bibe sedema ku pergala belavkirinê di zexta hewayê ya nizm de bixebite, ji bo zexta hewayê ya nizm 1 dikare bibe sedema ku iyon di herêma qata qalikê de pevçûnê kêm bike, bombebarankirina hedefê bi enerjiyek kînetîk a nisbeten mezin, û rojê bikaribe pevçûna atomên hedefê yên belavkirin û gaza bêalî kêm bike, da ku pêşî li belavbûna atomên hedefê li dîwarê cîhazê an vegera ser rûyê hedefê bigire, da ku rêje û kalîteya danîna fîlma zirav baştir bike.
Zeviya manyetîk a hedef dikare bi bandor rêça elektronan sînordar bike, ku ev jî bandorê li taybetmendiyên plazmayê û gravkirina iyonan li ser hedefê dike.
Şop: zêdekirina yekrengiya qada magnetîkî ya hedef dikare yekrengiya gravura rûyê hedef zêde bike, bi vî rengî karanîna materyalê hedef baştir dike; belavkirina maqûl a qada elektromagnetîk jî dikare bi bandor aramiya pêvajoya sputterkirinê baştir bike. Ji ber vê yekê, ji bo hedefa sputterkirina magnetronê, mezinahî û belavkirina qada magnetîkî pir girîng e.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 14ê Kanûna Pêşîn a 2023an